CDS混液柜是專為半導體、醫(yī)藥及化工領域設計的自動化化學液體混合與供液系統(tǒng)，集成了高精度配比、安全防護及智能化控制功能。其核心優(yōu)勢在于通過模塊化設計實現(xiàn)多組分化學液的精準混合與連續(xù)供應，同時保障操作安全性與工藝穩(wěn)定性。

一、核心功能與技術特點

全封閉耐腐蝕結(jié)構

柜體采用PP、PVDF或PFA等耐酸堿腐蝕材料焊接而成，有效隔絕強酸、強堿等揮發(fā)性氣體泄漏，避免環(huán)境污染與設備腐蝕。

透明PVC觀察窗與可拆卸后門設計，便于實時監(jiān)測內(nèi)部管路狀態(tài)，快速定位故障。

高效混液與供液能力

配備雙PE材質(zhì)供液桶（如1000L容量），支持一備一用不間斷供液，滿足連續(xù)生產(chǎn)需求。

計量泵與循環(huán)過濾系統(tǒng)結(jié)合，實現(xiàn)化學液的精確配比（如光刻膠、蝕刻液濃度控制）與微粒過濾（0.2μm濾芯），確保液體潔凈度。

除泡器消除流體震動產(chǎn)生的氣泡，避免氣泡對工藝穩(wěn)定性的影響。

智能控制系統(tǒng)

PLC人機交互界面支持參數(shù)預設、流程自動化及遠程監(jiān)控，減少人工干預。例如，接收主機臺信號后自動啟停供液程序，并記錄用量數(shù)據(jù)。

漏液偵測與警報系統(tǒng)覆蓋供液柜、閥箱及管道，通過雙套管設計（內(nèi)管走液，外管監(jiān)測泄漏）及時預警，防止化學品污染。

安全與環(huán)保設計

抽風系統(tǒng)搭配差壓表實時監(jiān)測揮發(fā)性氣體排放，防爆照明與氣體偵測器適用于有機溶劑等高危場景。

水循環(huán)沖洗與氮氣干燥功能替代傳統(tǒng)高溫烘干，避免治具熱損傷，同時降低能耗。

二、應用場景與行業(yè)價值

半導體制造：用于光刻、蝕刻工藝中的化學液精準配送，如顯影液、蝕刻液的多工位循環(huán)供液，提升芯片良品率。

醫(yī)藥研發(fā)：支持藥物中間體合成、高分子控釋劑制備等場景，模塊化配置適應不同配方需求。

電子工業(yè)：服務于PCB蝕刻、電鍍等環(huán)節(jié)，確?；瘜W藥劑輸送的高精度與穩(wěn)定性。

三、設備優(yōu)勢總結(jié)

兼容性強：適配不同尺寸治具與多類型化學液，支持定制化工藝參數(shù)。

低損耗率：精準混液減少試劑浪費，物理隔離設計延長設備壽命。

綠色節(jié)能：化學劑回收率≥90%，真空干燥能耗較傳統(tǒng)方式降低40%。

高潔凈度：顆粒過濾精度達Class 5標準，滿足制程要求。

CDS混液柜通過技術整合與創(chuàng)新，解決了傳統(tǒng)人工配液的效率低、風險高、精度差等問題，成為半導體等領域的關鍵設備，助力客戶實現(xiàn)高效、安全、綠色的生產(chǎn)目標。