全自動RCA清洗系統(tǒng) 芯矽科技
參考價 | ¥ 10000 |
訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 蘇州芯矽電子科技有限公司
- 品牌 芯矽科技
- 型號
- 產(chǎn)地 蘇州市工業(yè)園區(qū)江浦路41號
- 廠商性質 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/6/18 13:52:27
- 訪問次數(shù) 76
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非標定制 | 根據(jù)客戶需求定制 |
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全自動RCA清洗系統(tǒng)是專為半導體制造、光伏及精密電子領域設計的標準化濕法清洗設備,基于經(jīng)典的SC-1(硫酸+過氧化氫)和SC-2(鹽酸+過氧化氫)化學配方,結合現(xiàn)代自動化技術,實現(xiàn)高效、無損的晶圓、硅片及金屬部件表面污染物清除。該系統(tǒng)通過精準控制化學濃度、溫度與流體動力學,確保清洗過程符合納米級潔凈度要求,同時避免材料損傷,適用于光刻、蝕刻后清潔、封裝前處理等關鍵工藝環(huán)節(jié)
一、核心功能與技術特點
多工藝兼容設計
標準化RCA流程:內置SC-1(去除有機物與金屬顆粒)和SC-2(腐蝕氧化層)雙模式,支持用戶自定義酸堿液配比與清洗時間,適應不同污染類型。
兆聲波掃描技術:非接觸式高頻振動(1MHz)強化液體滲透,精準清除亞微米級顆粒(≤0.1μm),避免機械摩擦損傷晶圓表面。
超聲波空化輔助:40kHz超聲波剝離頑固殘留物,尤其針對窄間隙結構(如芯片間隙、孔洞)提升清洗均勻性。
精密溫控與化學管理
閉環(huán)加熱系統(tǒng):電加熱搭配PID溫控算法,實現(xiàn)±0.3℃精度,確保SC-1/SC-2反應穩(wěn)定性,防止高溫導致的氧化或腐蝕不均。
自動加液與回收:蠕動泵精確計量硫酸、鹽酸、過氧化氫等試劑,廢液分類回收率≥90%,降低危廢處理成本。
在線監(jiān)測模塊:集成TOC(總有機碳)傳感器與顆粒計數(shù)器,實時反饋清洗效果,避免過度清洗或殘留超標。
無損保護與安全性
柔性承載結構:硅膠或PTFE材質夾具固定晶圓,避免機械應力導致碎裂;真空吸附承載盤防止硅片滑動。
雙重防泄漏設計:槽體采用PFA雙層焊接工藝,溢流口與緊急排空閥聯(lián)動,杜絕強酸/堿泄漏風險。
環(huán)保安全系統(tǒng):內置廢氣吸附裝置(活性炭過濾+催化燃燒)處理揮發(fā)性氣體,抽風差壓監(jiān)測防止有毒氣體外泄。
二、智能化與自動化優(yōu)勢
人機交互界面:10英寸觸摸屏預設標準RCA工藝參數(shù),支持一鍵啟動、數(shù)據(jù)存儲與追溯,操作無需復雜培訓。
遠程監(jiān)控與聯(lián)網(wǎng):RS-485通信接口兼容MES系統(tǒng),實時上傳清洗溫度、時間、液位等數(shù)據(jù),便于工藝優(yōu)化與批次管理。
維護便捷性:模塊化槽體設計支持快速更換過濾器(0.2μm精度)、加熱管等易損件,減少停機時間。
三、設備優(yōu)勢總結
高潔凈度:清洗后表面顆粒數(shù)≤5顆/cm2(Class 5標準),有機物殘留量<0.5nm。
低損耗率:硅片翹曲變化≤0.5μm,電性能衰減<0.1%,保障器件可靠性。
節(jié)能環(huán)保:水循環(huán)系統(tǒng)減少純水消耗30%,化學劑回收再利用降低運營成本。
合規(guī)性:符合SEMI S8/S2標準及ISO 14001環(huán)保認證,適配車規(guī)級生產(chǎn)需求。