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TFW-100型 (3) LAMBDA低成本光譜膜厚測量設(shè)備拉姆達膜厚儀
參考價 | ¥ 29000 |
訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 美薩科技(蘇州)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 TFW-100型 (3)
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/6/21 17:24:19
- 訪問次數(shù) 36
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保 |
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LAMBDA低成本光譜膜厚測量設(shè)備拉姆達膜厚儀
分光膜厚測量 TFW-100(1)/(2)/(3)
這是工業(yè)領(lǐng)域的低成本光譜膜厚測量設(shè)備。
由于它是非接觸式和非破壞性的,因此可以在短時間內(nèi)輕松測量而不會損壞樣品。
它廣泛用于研發(fā)和在線質(zhì)量控制中的膜厚測量。
以低廉的價格實現(xiàn)了高精度和高穩(wěn)定性。
LAMBDA低成本光譜膜厚測量設(shè)備拉姆達膜厚儀 <特點>
?可進行非接觸式、非破壞性的膜厚測量。
?厚度為 10nm~1000μm,可支持多達 3 層的膜厚測量。
?不僅可以測量薄膜厚度,還可以測量光學倍增器(n、k)。
(最多 3 個參數(shù))
? 與微小點兼容。
?還可以測量彩色濾光片顏料膜的厚度。
■ 規(guī)格
類型 | TFW-100型 (1) | TFW-100型 (2) | TFW-100型 (3) | |||||||||||||||||||||||||||||||
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用 | 用于 ITO 等薄膜 | 一般用于薄膜厚度 | 彩色濾鏡顏料用于 薄膜厚度 | |||||||||||||||||||||||||||||||
測量的薄膜厚度 | 數(shù)量:10nm ~ 500nm (C/F), 500nm ~ 15μm (FFT) | 150nm~1.5μm(C/F) 1.5μm~60μm(FFT) | 500nm~10μm(C/F) | |||||||||||||||||||||||||||||||
測量可重復性 | 0.2%~1%(取決于薄膜質(zhì)量) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
測量波長 | 300納米~1000納米 | 400 納米~700 納米 | 900納米~1600納米 | |||||||||||||||||||||||||||||||
光源 | 12V-100W 鹵素燈 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
測量軟件 | TF-Lab (曲線擬合 / FFT) |
■ 膜厚測量的應(yīng)用實例
(1) 與晶圓輸送機相結(jié)合的自動測量 | (2) 使用帶有 XYZ 平臺的樣品測量臺進行測量 | |
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