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VTR-151M 日本ULVAC愛(ài)發(fā)科小型高頻濺射設(shè)備
參考價(jià) | ¥ 8000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 湖南中崎科技有限公司
- 品牌 ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科
- 型號(hào) VTR-151M
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/6/30 14:55:10
- 訪問(wèn)次數(shù) 214
ULVACULVAC VTR-151MVTR-151MULVAC 濺射設(shè)備小型高頻濺射設(shè)備VTR-151M
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光學(xué)設(shè)備,電子計(jì)測(cè)儀器,科學(xué)儀器,實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,機(jī)械加工設(shè)備,環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
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日本ULVAC愛(ài)發(fā)科小型高頻濺射設(shè)備
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科小型高頻濺射設(shè)備
特征
它是絕緣體、金屬和半導(dǎo)體材料的濺射系統(tǒng)。
渦輪分子泵用于主泵送。
直徑為 2 英寸,3 個(gè)陰極可進(jìn)行多次沉積。
磁控濺射可實(shí)現(xiàn)濺射速度 30nm/min (SiO2)。
它具有基板加熱系統(tǒng)(350°C)。
規(guī)范
型 | VTR-151M/SRF (SCOTT-C3) | |
真空性能 | 極限壓力 | 6,6×10-4帕 |
疏散時(shí)間 | 6,6×10-3帕/5分鐘 | |
真空室 | 真空室 | 金屬腔室 (直徑 310.5mm × 160mm (H)) |
陰極 | 直徑 2 英寸,3 路 | |
標(biāo)準(zhǔn)目標(biāo) | 直徑 2 英寸(直徑 50.8 毫米)× T1mm ×T1 毫米 | |
濺射有效面積 | 25 毫米 | |
濺射速度 | SiO2 SiO2,沉積時(shí)超過(guò) 30nm/min | |
膜厚分布 | SiO2 SiO2,直徑 25mm 時(shí) ±10% 以內(nèi) | |
基板加熱溫度 | 最高 350°C | |
最高 350 攝氏度 | 50mm ~ 90mm (可變:半固定) | |
排氣系統(tǒng) | 主泵 | 渦輪分子泵 250 L/sec |
液氮捕集阱 | ー | |
副泵 | 油旋轉(zhuǎn)泵200L/min | |
油霧捕集器 | 油霧捕集器 OMT-200A | |
作系統(tǒng) | 主閥 | 蝶閥 |
副閥 | 三通閥 | |
自動(dòng)泄漏閥 | 選擇 | |
控制 | 手動(dòng)控制 | |
控制系統(tǒng) | 射頻電源 | 最大 300W (0~300W 可變) |
皮拉尼真空計(jì) | GP-1GRY 系列 | |
電離真空計(jì) | 編號(hào):ISG1/SH2-1 | |
設(shè)置 | 外部尺寸 | 1081 毫米(寬)×853 毫米(深)×1104 毫米(高) |
重量 | 400 公斤 |
效用
尺寸圖

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