CYR-E-NMP 在線NMP濃度檢測儀 助力半導體清洗提升良率
參考價 | ¥ 9999 | ¥ 8888 |
訂貨量 | 1-9套 | ≥10套 |
- 公司名稱 湖南楚一機電有限公司
- 品牌 楚一測控
- 型號 CYR-E-NMP
- 產(chǎn)地 湖南長沙
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/7/8 15:39:40
- 訪問次數(shù) 48
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主營產(chǎn)品:在線濃度計,濃度在線光電折光儀,在線濃度測定儀,溶液在線濃度儀,在線濃度折光儀,濃度在線檢測儀,在線濃度檢測儀,在線折光儀,在線濃度測量儀,濃度在線監(jiān)測儀,濃度在線監(jiān)控自動配液設備,在線濃度測試儀。
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領域 | 環(huán)保,化工,能源,制藥/生物制藥,綜合 |
---|---|---|---|
測量范圍 | 0 - 100% | 測量精度 | ±0.1% |
測量溫度 | 0至130℃ | 溫度補償 | 0-130℃ |
觸液面材質(zhì) | 超純PTFE或PFA | 輸入電源 | DC 24V |
信號輸出 | DC 4-20mA & RS485 | 防護等級 | IP65 |
工藝壓力 | ≤1 MPa | 清洗選項 | 可選自動清洗組件 |
產(chǎn)品介紹
在半導體清洗工藝中,控制 NMP 濃度至關(guān)重要,而基于折光原理的在線NMP濃度檢測儀正是該領域的主流選擇之一,能有效助力半導體清洗提升良率。
半導體清洗需要控制 NMP濃度。NMP是高效的光刻膠剝離劑和清洗溶劑,濃度直接影響其溶解能力。濃度過低會導致清洗困難,出現(xiàn)光刻膠殘留;濃度過高則可能造成過度刻蝕或損傷敏感結(jié)構(gòu)。此外,濃度波動會使晶圓批次間的清洗效果出現(xiàn)差異,成為良率波動的潛在因素。
在線NMP濃度檢測儀檢測NMP濃度具有諸多優(yōu)勢。它能夠?qū)崟r連續(xù)監(jiān)測,提供每秒更新的濃度數(shù)據(jù),及時反饋清洗槽或循環(huán)管路中 NMP 的實際狀態(tài),快速響應異常情況,避免整批晶圓報廢?,F(xiàn)代在線折光儀在 NMP 的典型工作濃度范圍內(nèi)精度高,測量基于物理光學原理,不受溶液顏色、氣泡、懸浮物等干擾,穩(wěn)定性優(yōu)于電導率或 pH 法。儀表設計良好,無耗材,減少長期運營成本和維護頻次。
在半導體清洗中,NMP 濃度在線分析儀有多個典型應用點,如光刻膠剝離槽主槽或循環(huán)管路中 NMP 工作液濃度的實時監(jiān)控與自動補液,清洗 / 漂洗槽監(jiān)控 NMP 殘留或回收液濃度,NMP 回收系統(tǒng)監(jiān)測蒸餾提純后 NMP 的純度,以及廢液處理前監(jiān)控確保廢液濃度符合處理裝置要求。
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品型號 | CYR-E-NMP |
測量項目 | 折射率、溫度、濃度 |
測量范圍 | 0-100% |
分 辨 率 | 0.01% |
重復精度 | ± 0.02% |
測量溫度 | 0至130℃ |
溫度補償 | 0-130℃ |
關(guān)鍵材質(zhì) | 觸液面材質(zhì):超純PTFE或PFA;外殼:襯氟 |
棱鏡材質(zhì) | 光學級藍寶石 |
信號輸出 | DC4至20mA & RS485;2路開關(guān)量信號輸出 |
輸入電源 | DC 24V 或 AC 220V |
防護等級 | IP65 |
工藝壓力 | ≤1MPa(10Bar)更高壓力等級可定制 |
尺寸重量 | 傳感器:¢119 * 188mm / 約2.0KG |
安裝選項 | 1/2英寸管路安裝 |
其他功能 | 多功能主機操作面板可查看濃度、溫度、折射率等數(shù)據(jù) 支持故障碼提示、一鍵校零、恢復出廠設置、曲線記錄及數(shù)據(jù)導出等功能 |