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Model 30 準(zhǔn)直紫外光源及曝光系統(tǒng)
- 公司名稱 德國(guó)韋氏納米系統(tǒng)有限公司
- 品牌 OAI
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/10 13:29:19
- 訪問(wèn)次數(shù) 112
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
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Model 30 準(zhǔn)直紫外光源及曝光系統(tǒng)
OAI 的獨(dú)立式紫外泛光曝光系統(tǒng)，適用于深紫外、中紫外或近紫外。系統(tǒng)包括強(qiáng)度控制、雙波長(zhǎng)傳感器和精密曝光定時(shí)器。從靈活性角度設(shè)計(jì)，該系統(tǒng)可用作獨(dú)立單元，集成到晶圓旋轉(zhuǎn)軌道上，或通過(guò)使用一個(gè)或兩個(gè)燈箱以及各種光路方向，以多種其他配置形式使用。在深紫外波段，可實(shí)現(xiàn)單級(jí)或多級(jí)高分辨率光刻，光譜峰值為 220、260 或 310 納米。近紫外系統(tǒng)功率范圍為 200 至 2000 瓦，深紫外系統(tǒng)為 500 至 2000 瓦 。
燈發(fā)出的能量被導(dǎo)向主介質(zhì)鏡，主介質(zhì)鏡反射所需能量并濾除不需要的輻射?？烧{(diào)節(jié)的光學(xué)積分器提高能量均勻性，并能控制能量和光束發(fā)散度。能量在曝光平面均勻分布并被準(zhǔn)直。透過(guò)副鏡的能量由一個(gè)調(diào)諧到所需波長(zhǎng)的光學(xué)探測(cè)器測(cè)量，并傳輸?shù)胶愣◤?qiáng)度控制器，該控制器補(bǔ)償燈的老化和功率波動(dòng)，將光線控制在 ±2% 以內(nèi)。雙通道控制器可在 0.1 或 1.0 秒的增量下設(shè)置為 0 到 999 秒。
OAI 紫外曝光系統(tǒng)以長(zhǎng)期可靠性和高效率著稱。它們的設(shè)計(jì)便于從一個(gè)波長(zhǎng)區(qū)域轉(zhuǎn)換到另一個(gè)波長(zhǎng)區(qū)域，并有多種帶通鏡組可供選擇 。
應(yīng)用領(lǐng)域
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