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Wafergard® II SF Mini XL 美國Entegris 在線氣體過濾器 華北
- 公司名稱 北崎國際貿(mào)易(北京)有限公司
- 品牌 Entegris
- 型號 Wafergard® II SF Mini XL
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/8/3 17:54:41
- 訪問次數(shù) 90
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 1千-1萬 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,電氣 |
美國Entegris 在線氣體過濾器 華北
美國Entegris 在線氣體過濾器 華北
Wafergard® II SF Mini/Mini XL 在線氣體過濾器,非常適合需要高顆粒去除效率且全不銹鋼結(jié)構(gòu)的高純度氣體系統(tǒng)。
全 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)與大多數(shù)半導(dǎo)體工藝氣體具有良好的化學(xué)相容性
專門的清潔和高溫烘烤可實(shí)現(xiàn)的初始清潔度,從而實(shí)現(xiàn)快速氣體啟動
高流速/低壓降特性適用于低蒸氣壓氣體 高顆粒去除效率減少了晶圓上的缺陷,提高了產(chǎn)量
提供標(biāo)準(zhǔn)和加長 (XL) 長度 應(yīng)用Wafergard® II SF Mini/Mini XL 在線氣體過濾器應(yīng)用超純氣體管線
高溫應(yīng)用 動態(tài)壓力應(yīng)用 惰性和反應(yīng)性氣體* 氣柜 燃?xì)獍?閥島箱 聯(lián)播
產(chǎn)品規(guī)格材料 濾芯 316L 不銹鋼 外殼、端蓋 低硫 316L 不銹鋼
初始下游清潔度 ≤0.03 個顆粒/升(≤1 個顆粒/英尺3) ≥ 0.01 μm 去除等級 ≥0.0015 微米
顆粒截留 在 30 slm (Mini) 和 60 slm (Mini XL) 下去除所有顆粒的去除率超過 99.9999% (6 LRV);以具穿透力的粒徑為參考 內(nèi)飾表面光潔度 ≤5 μin Ra
氦氣泄漏等級 合格 2 x 10-11帕米3/秒 (2 x 10-10 大氣壓 cc/sec)
測試 9 × 10-10帕米3/秒 (9 x 10-9大氣壓 cc/sec)
最大條件 最大工作壓力: 16.2 MPa (162 bar, 2346 psig) @ 20°C (68°F)
最大正向/反向壓差: 3 MPa(30 巴,435 psid)@ RT
最高工作溫度: 惰性氣體:400°C (752°F)
流量等級 查看性能數(shù)據(jù)
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