2Z-HVS-100 高真空封裝機(jī)
- 公司名稱 德國(guó)韋氏納米系統(tǒng)有限公司
- 品牌 UNITEMP/尤尼坦
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 德國(guó)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/14 14:04:38
- 訪問次數(shù) 40
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 10萬-30萬 |
|---|---|---|---|
| 儀器種類 | 箱式爐 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣,綜合 |
2Z-HVS-100 高真空封裝機(jī)
應(yīng)用領(lǐng)域
● MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）的密封及熱封裝
● 吸氣劑激活
（在真空系統(tǒng)內(nèi)部沉積反應(yīng)性材料）
● 在雙溫區(qū)熱處理過程中實(shí)現(xiàn)元件分離
產(chǎn)品特點(diǎn)
● 上下加熱
● 最多 4 條內(nèi)部氣體管路
● 數(shù)據(jù)記錄功能
● 真空度可達(dá) 10??百帕
● 配備西門子 SIMATIC® 控制器
● 通過 360°C 光學(xué)過程控制
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應(yīng)用場(chǎng)景
2Z-HVS 是一款高真空密封設(shè)備，可對(duì) MEMS 進(jìn)行氣密性密封。
工藝氣體
該系統(tǒng)可使用標(biāo)準(zhǔn)工藝氣體，如氮?dú)?、氧氣、形成氣等?/p>
流量計(jì)
默認(rèn)配置 1 條帶質(zhì)量流量控制器（MFC）的氣體管路，還可額外增加 3 條氣體管路（可選配質(zhì)量流量控制器）。
真空性能
系統(tǒng)真空度可達(dá) 10??百帕。
溫度
最高可達(dá)到的溫度為 450°C。
溫度分布
加熱板具有優(yōu)異的溫度分布性與均勻性。
編程功能
2Z-HVS 配備 SIMATIC® 控制器，可直接在設(shè)備上編程，也可通過 USB 接口連接電腦進(jìn)行便捷編程。設(shè)備可存儲(chǔ) 20 個(gè)程序，每個(gè)程序包含 100 個(gè)步驟。
冷卻過程
底部加熱板采用主動(dòng)水冷方式。腔室外殼冷卻需依賴外部冷卻（建議使用閉環(huán)水冷系統(tǒng)，配件型號(hào)：WC-I）。
特殊設(shè)計(jì)
工藝腔室周圍設(shè)有 360° 玻璃筒，可實(shí)時(shí)觀察工藝過程。
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