【技術(shù)應(yīng)用】

HSM-CPS系列機臺最典型的應(yīng)用是以下材料等的末級化學(xué)腐蝕拋光：

? 用于紅外探測和其它器件的碲鋅鎘,銻化銦，碲鎘汞

? 有無微電路或其它器件結(jié)構(gòu)的，薄的或超薄的Ⅲ-Ⅴ族,Ⅱ-Ⅵ族化合物半導(dǎo)體材料

? 磷化銦，硫化鎘及類似的光電材料

HSM-CPS能理想的用于所有需要電子/光學(xué)級拋光的高標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用，提供了晶體最小應(yīng)力解決方法。

【設(shè)備說明】

      HSM-CPS化學(xué)拋光機是一個抗腐蝕化學(xué)拋光機，集成外圍通風(fēng)柜，設(shè)計以提供一個成本有效的設(shè)備用于腐蝕性及正常危險化學(xué)拋光操作。系列機臺最典型的應(yīng)用是以下材料等的末級化學(xué)腐蝕拋光：   

      HSM-CPS系列化學(xué)拋光機主要由聚丙烯，PVDF(聚偏氟乙稀)和其它抗腐蝕材料制成，適用于很多種強腐蝕化學(xué)拋光劑。它的萬向轉(zhuǎn)動機械裝置和所有的電力機械裝置都安放在下甲板之下。下甲板和驅(qū)動盤基底間的液封裝置能將工作區(qū)域隔開以防止腐蝕，驅(qū)動軸和下工作甲板間用一橡皮密封。通過前端裝有控制部分的活動面板可進入甲板下方區(qū)域。此區(qū)域有冷卻扇及適當(dāng)?shù)呐棚L(fēng)。

      機臺左手邊的工作甲板是結(jié)構(gòu)上的標(biāo)準(zhǔn)組件，容易拆下進行清洗及進入甲板下的區(qū)域。標(biāo)準(zhǔn)的甲板配置和樣品容納夾具被設(shè)計用于容納樣品進行處理，樣品材料是固定在直徑83mm (3.27”)的玻璃襯底片上。根據(jù)客戶的特殊要求這些配置還可以進行更改。

      HSM-CPS系列化學(xué)拋光機根據(jù)工藝需求不同，配置有多種材質(zhì)拋光盤，包括可以貼背膠拋光布的拋光盤。