日本HOYA豪雅

HSL系列激光振蕩器的技術架構

日本HOYA豪雅HSL-5500III/5000III采用雙直線襯套諧振結構，激光頭與框架使用高剛性合金材料，抗振性能達傳統(tǒng)型號200%，XY軸向操作穩(wěn)定性提升顯著。系統(tǒng)配備石英防塵罩（氣密性提升3倍）與PFN激光電源，通過電動狹縫實現(xiàn)±5μm級精度調(diào)節(jié)，支持4組加工參數(shù)記憶功能，滿足半導體晶圓修復等高精度需求。

核心性能優(yōu)勢

環(huán)境適應性：

溫度補償諧振器可將光路偏移控制在0.01mm/℃內(nèi)，適應5-40℃工作環(huán)境

模塊化設計允許快速更換激光管（壽命2000小時）與過濾器（單觸式更換）

能效比優(yōu)化：

空冷式HSL-4000III機型無需外接冷卻水，能耗降低40%

軟件線性調(diào)控系統(tǒng)可實時匹配1064nm/532nm/355nm多波長輸出

行業(yè)應用實績：

*累計裝機超2000臺，主要應用于：

? FPC柔性電路板激光鉆孔（最小孔徑20μm）

? 液晶面板ITO膜層修復（定位精度±3μm）

? 醫(yī)療設備精密焊接（熱影響區(qū)＜50μm）

技術演進方向

2025年新款HSL-6000系列將集成AI實時監(jiān)測系統(tǒng)，通過光譜分析自動補償能量波動，預計加工效率提升15%?，F(xiàn)有HSL-5500III已通過CE認證與RoHS環(huán)保標準，支持定制化光路擴展接口。

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