MC-7200D 質量流量控制器 華中日本LINTEC林泰克
- 公司名稱 北崎國際貿(mào)易(北京)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 MC-7200D
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/7/24 14:34:25
- 訪問次數(shù) 31
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應用領域 | 能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合 |
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通過使用熱傳感器,實現(xiàn)100msec(typical)高速流量控制。使用LINTEC非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥,可實現(xiàn)腐蝕性氣體的超高速流量控制。
流量精度可達到±1.0%S.P.,數(shù)字通信方式可選擇DeviceNet或EtherC
產(chǎn)品特點
超高速流量控制200msec
精度±1%S.P.
使用溫度5~50℃
金屬密封材
無塵(粒子標準監(jiān)控)
周圍溫度補償傳感器
支持EtherCAT通訊方式
支持DeviceNet™通訊方式
質量流量控制器 華中日本LINTEC林泰克 MC-7200D
質量流量控制器 華中日本LINTEC林泰克 MC-7200D
超高速流量制御


使用范例
快速刻蝕工藝
在半導體制造工藝中,在微細化的同時還需要提高產(chǎn)量。對于控制反應氣體流量的質量流量控制器來說,縮短流量控制開始(啟動)時間的需求日益增加。超高速質量流量控制器【MC-7000】因為使用了非接觸式熱式流量傳感器,流量傳感器與流量測量氣體不接觸,可實現(xiàn)200msec的超高速響應。同時,因為非接觸式的特點,該流量控制器可用于測量腐蝕性氣體。
產(chǎn)品規(guī)格表
溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封材 |
5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 20SLM | Au |