MC-5460C 華南供應(yīng)LINTEC林泰克 氣體用流量控制器
- 公司名稱 北崎國(guó)際貿(mào)易(北京)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) MC-5460C
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/7/24 16:32:39
- 訪問次數(shù) 33
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合 |
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標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備包括半導(dǎo)體制造工藝所需的金屬密封件和 LINTEC 創(chuàng)的補(bǔ)充環(huán)境溫度的質(zhì)量流量傳感器,該傳感器支持液化氣體和其他可選規(guī)格。
特征
精度范圍±1%S.P.
金屬密封件
無塵生產(chǎn)(顆粒標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)測(cè))
環(huán)境溫度輔助質(zhì)量流量傳感器
EtherCAT通信
可選規(guī)格
小流量 F.S.
液化氣
流量范圍大
華南供應(yīng)LINTEC林泰克 氣體用流量控制器 MC-5450C
華南供應(yīng)LINTEC林泰克 氣體用流量控制器 MC-5450C
使用案例
EtherCAT通信設(shè)備的統(tǒng)一
越來越多的半導(dǎo)體制造設(shè)備配備了EtherCAT通信接口(數(shù)字I/F),用于機(jī)械臂等運(yùn)輸系統(tǒng)的高速控制。 MFC 具有 65,536 個(gè)用于 EtherCAT 通信的節(jié)點(diǎn),MFC 的所有測(cè)量系統(tǒng)和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)組件都可以通過 EtherCAT 通信進(jìn)行統(tǒng)一。
規(guī)格表
溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 敏 F.S. | 馬克斯 F.S. | 海豹 |
15~35°C | 50kPa | 300kPa | ±1%股份代價(jià) | 2~100%F.S. | 10SCCM的 | 300SLM | 金 |
此表僅顯示一般規(guī)格的 MFC。 根據(jù)可選規(guī)格而有所不同。
■簡(jiǎn) 介
●MC-5000C系列主要是根據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)所制成的EtherCAT®通訊接口質(zhì)量流量控制器
■特 點(diǎn)
●通訊接口采用SEMI E54.20-1108標(biāo)準(zhǔn)的EtherCAT®
●搭配LINTEC的環(huán)境溫度補(bǔ)償式質(zhì)流傳感器
●內(nèi)置微處理器提高處理效能
●控制閥由具有極小閉死容積的隔膜閥構(gòu)造所組成
●采用高速度,高性能的壓電控制閥
●使用耐久性高、密閉性高的金屬密封件,維護(hù)性提高
●采用金屬外殼以及各種濾波器,在高磁噪音及直流磁場(chǎng)的環(huán)境下亦能維持其安定性
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