MC-3000L 西部現(xiàn)貨LINTEC林泰克 數(shù)字流量控制器
- 公司名稱 北崎國際貿易（北京）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 MC-3000L
- 產地 日本
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2025/7/24 18:55:01
- 訪問次數(shù) 49
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| 應用領域 | 能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合 |
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搭配LINTEC的環(huán)境溫度補足式質流傳感器，即使在低溫下也能實現(xiàn)高精度的流量測量。 它可抑制由于傳感器受熱而導致的老化劣化，可以對臭氧等高度可降解的氣體進行流量控制。可搭載的選配規(guī)格包括：液化氣體、小流量 F.S.、大流量范圍、表面實裝和接頭名稱。
西部現(xiàn)貨LINTEC林泰克 數(shù)字流量控制器 MC-3000L
西部現(xiàn)貨LINTEC林泰克 數(shù)字流量控制器 MC-3000L
特點
精度范圍±1%S.P.
使用溫度5~50℃
金屬密封件
無塵生產（粒子標準監(jiān)控）
周圍溫度補償式傳感器
RS-485數(shù)字通訊接口
選配規(guī)格
小流量F.S.
液化氣體
大流量范圍
使用范例
半導體生產前端工藝
由于CVD（化學氣相沉積法）、ALD（原子層沉積法）鍍膜設備和蝕刻設備中使用高活性氣體，因此具有高耐腐蝕性金屬密封的氣體質量流量控制器至關重要。
此外，前驅體在常溫常壓下含有大量液化氣體，因此具有耐熱性且不易液化的閥門結構很重要。 選擇LINTEC高性能質量流量控制器MC-3000L，則可選配【液化氣體】【最高工作溫度50°C（可選至55°C）】等相應規(guī)格。
分析設備
分析設備可能需要控制極小流量，但一般質量流量控制器的最小F.S.為5SCCM，因此無法對應。 MC-3000L高精度質量流量控制器可選配F.S.1SCCM或更低流量范圍。
此外，高性能質量流量控制器MC-3000L還標配死體積較小的隔膜閥。
詳情請致電或郵件咨詢。
規(guī)格表
| 溫度 | 最下壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最小F.S. | 密封件 |
| 5～50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 400SLM | Au |
※此表僅表示一般規(guī)格的MFC。 根據(jù)選配規(guī)格變化。
■簡 介
●MC-3000L系列是可以確保精度于±1%S.P.（設定值）范圍內的高性能數(shù)字通訊質量流量控制器
■特 點
●確保精度于±1%S.P.（設定值）范圍內
●采用標準RS-485數(shù)字通訊接口
●搭配LINTEC的環(huán)境溫度補足式質流傳感器
●內置微處理器提高處理效能
●控制閥由具有極小閉死容積的隔膜閥構造所組成
●采用高速度，高性能的壓電控制閥
●使用耐久性高、密閉性高的金屬密封件,維護性提高
●采用金屬外殼以及各種濾波器，在高磁噪音及直流磁場的環(huán)境下亦能維持其安定性
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