MC-3102L-TC 氣體流量控制器 日本LINTEC林泰克供應(yīng)
- 公司名稱 北崎國際貿(mào)易(北京)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 MC-3102L-TC
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/7/24 19:45:30
- 訪問次數(shù) 44
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合 |
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通過將高溫氣體接觸部分與不耐熱的基板部分分離,可以實現(xiàn)高溫環(huán)境下的氣體控制。接氣體加熱模塊采用不銹鋼材料SUS-316L,密封材料采用Au,可對應(yīng)腐蝕性氣體。在標準配置基礎(chǔ)上,還可選配防止液化氣體再次液化的低壓差規(guī)格,以及接觸氣體部分專用加熱模塊。
氣體流量控制器 日本LINTEC林泰克供應(yīng) MC-3102L-TC
氣體流量控制器 日本LINTEC林泰克供應(yīng) MC-3102L-TC
特點
使用溫度Max120℃
金屬密封件
無塵生產(chǎn)(粒子標準監(jiān)控)
RS-485數(shù)字通訊接口
選配規(guī)格
液化氣體
加熱模塊
使用范例
液化氣體、升華氣體流量控制
CVD(化學(xué)氣相沉積法)和 ALD (原子層沉積法)中所使用的氣源不僅限于常溫常壓下的氣體,也可能是常溫常壓下的液體或固體原料。液體和固體在常溫條件下產(chǎn)生的氣體較少,很難利用壓差原理來控制流量。因此,MFC的工作壓力是通過加熱原料罐并增加蒸汽壓力以產(chǎn)生壓差來確保的。MC-3000L-TC能夠進行高溫控制和低壓差工作,是液化和揮發(fā)性氣體流量控制的理想選擇。
規(guī)格表
溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封材 | |
Low | 80~100℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
high | 100~120℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
※此表僅表示一般規(guī)格的MFC。 根據(jù)選配規(guī)格變化。
■簡 介
●MC-3000L-TC 系列是可適用最高溫度達120℃的質(zhì)量流量控制器
■特 點
●可用于120℃高溫環(huán)境下操作
●采用標準RS-485數(shù)字通訊接口
●搭配LINTEC的環(huán)境溫度補償式質(zhì)流傳感器
●內(nèi)置微處理器提高處理效能
●控制閥由具有極小閉死容積的隔膜閥構(gòu)造所組成
●采用高速度,高性能的壓電控制閥
●使用耐久性高、密閉性高的金屬密封件,維護性提高
●采用金屬外殼以及各種濾波器,在高磁噪音及直流磁場的環(huán)境下亦能維持其安定性
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