日本MITUTOYO超高精度CNC三次元測(cè)量機(jī)LEGEX

日本MITUTOYO超高精度CNC三次元測(cè)量機(jī)LEGEX

日本三豐LEGEX系列超高精度CNC三次元測(cè)量機(jī)代表著當(dāng)今工業(yè)測(cè)量技術(shù)的強(qiáng)力之作，專(zhuān)為滿(mǎn)足納米級(jí)精密測(cè)量需求而設(shè)計(jì)。該產(chǎn)品采用了多項(xiàng)突破性技術(shù)創(chuàng)新，在測(cè)量精度、環(huán)境適應(yīng)性和智能化程度方面都樹(shù)立了行業(yè)新標(biāo)準(zhǔn)。

核心技術(shù)創(chuàng)新LEGEX系列顯著的技術(shù)突破在于其革命性的測(cè)量系統(tǒng)架構(gòu)。采用三豐的"超穩(wěn)定框架設(shè)計(jì)"，通過(guò)復(fù)合碳纖維材料和特殊合金的優(yōu)化組合，實(shí)現(xiàn)了之前沒(méi)有過(guò)的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。測(cè)量系統(tǒng)搭載納米級(jí)分辨率的光柵尺，分辨率達(dá)到0.01μm，配合高剛性氣浮導(dǎo)軌，確保了測(cè)量過(guò)程中的絕對(duì)平穩(wěn)性。創(chuàng)新的主動(dòng)隔振系統(tǒng)可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并抵消環(huán)境振動(dòng)，即使在普通車(chē)間環(huán)境下也能保持穩(wěn)定的測(cè)量性能。

環(huán)境控制系統(tǒng)為達(dá)到納米級(jí)測(cè)量精度，LEGEX系列配備了完善的環(huán)境控制系統(tǒng)。包括：

1. 多區(qū)域溫度補(bǔ)償系統(tǒng)：采用16點(diǎn)溫度傳感器網(wǎng)絡(luò)，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)設(shè)備各部位溫度變化

2. 主動(dòng)恒溫系統(tǒng)：內(nèi)置精密溫控裝置，可將設(shè)備核心區(qū)域溫度波動(dòng)控制在±0.1℃范圍內(nèi)

3. 氣流管理系統(tǒng)：設(shè)計(jì)的層流系統(tǒng)，有效隔離外界氣流干擾

智能測(cè)量系統(tǒng)LEGEX系列搭載三豐最新研發(fā)的M-ULTRA智能控制系統(tǒng)，具有以下特點(diǎn)：

• 支持5軸聯(lián)動(dòng)納米級(jí)測(cè)量

• 自動(dòng)測(cè)頭識(shí)別與校準(zhǔn)功能

• 智能路徑規(guī)劃算法

• 實(shí)時(shí)誤差補(bǔ)償技術(shù)

應(yīng)用領(lǐng)域該系列產(chǎn)品主要服務(wù)于以下制造領(lǐng)域：

1. 半導(dǎo)體制造：晶圓檢測(cè)、光刻機(jī)零部件測(cè)量

2. 精密光學(xué)：透鏡、棱鏡等光學(xué)元件檢測(cè)

3. 航空航天：發(fā)動(dòng)機(jī)葉片、精密結(jié)構(gòu)件測(cè)量

4. 醫(yī)療器械：人工關(guān)節(jié)、精密手術(shù)器械檢測(cè)

服務(wù)支持三豐為L(zhǎng)EGEX系列提供的技術(shù)支持：

• 專(zhuān)業(yè)實(shí)驗(yàn)室環(huán)境評(píng)估

• 定制化測(cè)量方案設(shè)計(jì)

• 定期精度認(rèn)證服務(wù)

• 專(zhuān)屬技術(shù)團(tuán)隊(duì)支持

LEGEX系列不僅是一臺(tái)測(cè)量設(shè)備，更是推動(dòng)制造業(yè)向納米級(jí)精度邁進(jìn)的關(guān)鍵工具，為制造領(lǐng)域提供了可靠的質(zhì)控保障。