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CM300xi型 Formfactor探針臺

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Formfactor全自動探針臺

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上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家專業(yè)的微納材料、半導(dǎo)體和微電子材料及器件研發(fā)儀器及設(shè)備的供應(yīng)商,所銷售的儀器設(shè)備廣泛用于高校、研究所、以及半導(dǎo)體和微電子領(lǐng)域的高科技企業(yè)。目前總部在上海,香港、南通、深圳、北京分別設(shè)立分公司和辦事處,快速響應(yīng)客戶需求。同時上海麥科威在快速擴(kuò)展海外市場,并設(shè)立新加坡分公司,輻射東南亞市場。

      上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司主要銷售產(chǎn)品包括:  - 霍爾效應(yīng)測試儀;  - 快速退火爐;  - 回流焊爐,共晶爐,釬焊爐,真空燒結(jié)爐;  - 電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī),熱蒸發(fā)鍍膜機(jī);  - 探針臺,低溫探針臺,微探針臺;  - 金剛石劃片機(jī); - 球焊機(jī),鍥焊機(jī);  - 磁控濺射鍍膜機(jī);  - 原子層沉積系統(tǒng),等離子增強(qiáng)原子層沉積設(shè)備;  - 電化學(xué)C-V剖面濃度分析儀(ECV Profiler); - 掃描開爾文探針系統(tǒng); - 光學(xué)膜厚儀; -貼片機(jī)-PECVD\CVD;-脈沖激光沉積系統(tǒng)-PLD-納米壓印;-等離子清洗機(jī)、去膠機(jī);-反應(yīng)離子刻蝕RIE; - 光刻機(jī)、無掩膜光刻機(jī); - 勻膠機(jī); - 熱板,烤膠板; -少子壽命、太陽能模擬器;-NMR-瞬態(tài)能譜儀-外延沉積-等離子清洗機(jī)-離子注入-劃片機(jī)、裂片機(jī)光刻機(jī)(針尖/電子束光刻機(jī)EBL,紫外光刻機(jī),激光直寫光刻機(jī)),鍍膜機(jī)(磁控濺射機(jī),電子束蒸發(fā)機(jī),化學(xué)沉積機(jī),微波等離子沉積機(jī),原子層沉積機(jī)  等等…

企業(yè)客戶:華為技術(shù)有限公司, 深圳市鵬芯微集成電路制造, 深圳清力技術(shù), 安徽格恩半導(dǎo)體, 蘇州稀晶半導(dǎo)體科技, 矽品半導(dǎo)體, 廈門海辰新能源科科, 中核同創(chuàng)(成都)科技, 洛瑪瑞芯片技術(shù)(常州),偉創(chuàng)力科技, 奧普科星河北科技,廣東五星太陽能,廣東萬和集團(tuán),西安西測股份, 普源精電科技, 普源精電科技股份, 上海蔚來汽車, 北京華脈泰科, 廣醫(yī)東金灣高景太陽能科技, 深圳匯佳成電子, 深圳市化訊半導(dǎo)體材料, 珠海珍迎機(jī)電, 合肥鼎材科技, 山東金晶節(jié)能玻璃, 江蘇云意電氣股份, 廣東風(fēng)華技股份, 浙江中能合控股集團(tuán),固安維信諾,淮安天合光能,浙江老鷹半導(dǎo)體, 四川信通電子科技等。


科研院所/高等院校: 北京航空航天大學(xué), 汕頭大學(xué), 南方醫(yī)科大學(xué), 清華大學(xué), 北京大學(xué), 復(fù)旦大學(xué), 西北工業(yè)大學(xué), 南京醫(yī)科大學(xué), 香港中文大學(xué), 香港城市大學(xué), 蘇州大學(xué), 深圳職業(yè)技術(shù)學(xué)院, 南京大學(xué)合肥國家試驗(yàn)室, 上海交通大學(xué)醫(yī)學(xué)院, 華南理工大學(xué),華東師范大學(xué),江南大學(xué),重慶26所, 深圳大學(xué), 南方科技大學(xué), 深圳技術(shù)大學(xué), 理化技術(shù)研究所, 中國工程物理研究院激光聚變研究中心, 廣東粵港澳大灣區(qū)黃埔材料研究院, 桂林電子科技大學(xué), 上海硅酸鹽研究所, 中國航天五院,中科合肥智慧農(nóng)業(yè)協(xié)同創(chuàng)新研究院等。

 

 

 

 

 

 

 

 

半導(dǎo)體設(shè)備,快速退火爐,原子層沉積,鍵合機(jī),光刻機(jī)

CM300xi 探針臺可應(yīng)對極其復(fù)雜的環(huán)境帶來的測量挑戰(zhàn),例如在長時間和多種溫度下在小焊盤上進(jìn)行無人值守的測試。在 EMI 屏蔽、光密和無濕氣的測試環(huán)境中,為各種應(yīng)用實(shí)現(xiàn)了的測量性能。熱管理增強(qiáng)功能和實(shí)驗(yàn)室自動化功能可提高產(chǎn)量并縮短數(shù)據(jù)獲取時間。對于低溫測試,F(xiàn)ormFactor的開放式IceShield™環(huán)境也可用于CM300xi。

CM300xi 支持接觸式智能™ - 一種可實(shí)現(xiàn)自主半導(dǎo)體測試的技術(shù)。創(chuàng)新的系統(tǒng)設(shè)計與先進(jìn)的圖像處理技術(shù)強(qiáng)強(qiáng)結(jié)合,提供了一個獨(dú)立于操作員的解決方案,可在任何時間和溫度下獲得高度可靠的測量數(shù)據(jù)。

CM300xi探針臺與物料處理單元相結(jié)合,將全自動晶圓測試與最高的精度和靈活性相結(jié)合。該系統(tǒng)可以處理多達(dá) 50 個 200 或 300 毫米的晶圓,這些晶圓以 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)晶圓盒的形式提供。

可選的 ReAlign™ 功能提供了獨(dú)立于主 eVue 顯微鏡執(zhí)行“離軸"探頭到焊盤對準(zhǔn)的功能。ReAlign 是不允許從上方觀察焊盤和探針尖的探針卡的理想工具。例如,垂直和金字塔探針卡就是這種情況。ReAlign 硬件包括 2 個額外的攝像頭:向下的“壓板攝像頭"直接集成到 CM300xi 的壓板中,用于觀察墊;向上看的“ChuckView Camera"用于表征探針尖。重新對齊向?qū)г试S使用預(yù)定義的算法輕松快速地設(shè)置不同的探針卡,如金字塔、阿波羅、懸臂等。ReAlign 可以自動管理溫度變化,無需操作員干預(yù)。




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