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Beneq P800 Beneq原子層沉積系統(tǒng)

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上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家專業(yè)的微納材料、半導(dǎo)體和微電子材料及器件研發(fā)儀器及設(shè)備的供應(yīng)商,所銷售的儀器設(shè)備廣泛用于高校、研究所、以及半導(dǎo)體和微電子領(lǐng)域的高科技企業(yè)。目前總部在上海,香港、南通、深圳、北京分別設(shè)立分公司和辦事處,快速響應(yīng)客戶需求。同時上海麥科威在快速擴展海外市場,并設(shè)立新加坡分公司,輻射東南亞市場。

      上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司主要銷售產(chǎn)品包括:  - 霍爾效應(yīng)測試儀;  - 快速退火爐;  - 回流焊爐,共晶爐,釬焊爐,真空燒結(jié)爐;  - 電子束蒸發(fā)鍍膜機,熱蒸發(fā)鍍膜機;  - 探針臺,低溫探針臺,微探針臺;  - 金剛石劃片機; - 球焊機,鍥焊機;  - 磁控濺射鍍膜機;  - 原子層沉積系統(tǒng),等離子增強原子層沉積設(shè)備;  - 電化學(xué)C-V剖面濃度分析儀(ECV Profiler); - 掃描開爾文探針系統(tǒng); - 光學(xué)膜厚儀; -貼片機-PECVD\CVD;-脈沖激光沉積系統(tǒng)-PLD-納米壓??;-等離子清洗機、去膠機;-反應(yīng)離子刻蝕RIE; - 光刻機、無掩膜光刻機; - 勻膠機; - 熱板,烤膠板; -少子壽命、太陽能模擬器;-NMR-瞬態(tài)能譜儀-外延沉積-等離子清洗機-離子注入-劃片機、裂片機光刻機(針尖/電子束光刻機EBL,紫外光刻機,激光直寫光刻機),鍍膜機(磁控濺射機,電子束蒸發(fā)機,化學(xué)沉積機,微波等離子沉積機,原子層沉積機  等等…

企業(yè)客戶:華為技術(shù)有限公司, 深圳市鵬芯微集成電路制造, 深圳清力技術(shù), 安徽格恩半導(dǎo)體, 蘇州稀晶半導(dǎo)體科技, 矽品半導(dǎo)體, 廈門海辰新能源科科, 中核同創(chuàng)(成都)科技, 洛瑪瑞芯片技術(shù)(常州),偉創(chuàng)力科技, 奧普科星河北科技,廣東五星太陽能,廣東萬和集團,西安西測股份, 普源精電科技, 普源精電科技股份, 上海蔚來汽車, 北京華脈泰科, 廣醫(yī)東金灣高景太陽能科技, 深圳匯佳成電子, 深圳市化訊半導(dǎo)體材料, 珠海珍迎機電, 合肥鼎材科技, 山東金晶節(jié)能玻璃, 江蘇云意電氣股份, 廣東風華技股份, 浙江中能合控股集團,固安維信諾,淮安天合光能,浙江老鷹半導(dǎo)體, 四川信通電子科技等。


科研院所/高等院校: 北京航空航天大學(xué), 汕頭大學(xué), 南方醫(yī)科大學(xué), 清華大學(xué), 北京大學(xué), 復(fù)旦大學(xué), 西北工業(yè)大學(xué), 南京醫(yī)科大學(xué), 香港中文大學(xué), 香港城市大學(xué), 蘇州大學(xué), 深圳職業(yè)技術(shù)學(xué)院, 南京大學(xué)合肥國家試驗室, 上海交通大學(xué)醫(yī)學(xué)院, 華南理工大學(xué),華東師范大學(xué),江南大學(xué),重慶26所, 深圳大學(xué), 南方科技大學(xué), 深圳技術(shù)大學(xué), 理化技術(shù)研究所, 中國工程物理研究院激光聚變研究中心, 廣東粵港澳大灣區(qū)黃埔材料研究院, 桂林電子科技大學(xué), 上海硅酸鹽研究所, 中國航天五院,中科合肥智慧農(nóng)業(yè)協(xié)同創(chuàng)新研究院等。

 

 

 

 

 

 

 

 

半導(dǎo)體設(shè)備,快速退火爐,原子層沉積,鍵合機,光刻機

價格區(qū)間 100萬-200萬 應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池

1.產(chǎn)品概述:

Beneq P800 門設(shè)計用于涂覆復(fù)雜形狀的大零件或大批量的小零件。我們的客戶將 P800 用于光學(xué)鍍膜、半導(dǎo)體設(shè)備部件的防腐鍍膜,以及在玻璃或金屬板上使用 ALD 的各種應(yīng)用。

2.產(chǎn)品配置:

大型零件需要大型原子層沉積工具。 Beneq P800 通常用于直徑大于 600mm 的批量零件。大批量生產(chǎn)能力還可以降低較小零件的成本,使原子層沉積在許多應(yīng)用域中具有商業(yè)可行性。根據(jù)每個客戶的基材和應(yīng)用選擇和設(shè)計佳的工具設(shè)置和 ALD 工藝。P800 的設(shè)計使得在反應(yīng)室和底物支架的不同設(shè)置之間切換變得容易。這種內(nèi)置的多功能性意味著您可以使用相同的原子層沉積系統(tǒng)從研發(fā)順利過渡到批量生產(chǎn)。Beneq 提供量身定制的應(yīng)用開發(fā)以及試生產(chǎn)支持,因此您可以在建立自己的 ALD 制造能力之進行測試。

用于厚膜堆疊 > 1 μm) 的理想 ALD 工具。大批量的厚膜堆疊需要大量的驅(qū)體,并產(chǎn)生大量的殘留物和副產(chǎn)物。我們設(shè)計的 P800 配備了高容量驅(qū)體源以及驅(qū)體滅活和過濾系統(tǒng),以應(yīng)對這些挑戰(zhàn)。Beneq P800 是 35+ 年工業(yè)生產(chǎn)發(fā)展的結(jié)果,具有大批量 >1μm 厚膜堆棧。

3.產(chǎn)品優(yōu)勢:

維護更簡單、頻率更低。 沉積厚膜堆疊的原子層沉積工具通常需要每月清潔一次。P800 的高容量泵管路過濾器使該工具即使在大批量生產(chǎn)中也能運行數(shù)月而無需維護。此外,更換 ALD 反應(yīng)室通常需要一整天的時間,因為您需要先讓它們冷卻下來。P800 設(shè)計允許用戶簡單地拉出反應(yīng)室和其他需要清潔的部件,從而將時間縮短到幾分鐘。

避免因維護而造成不必要的停機時間。 Beneq P800 使用多個反應(yīng)室,這些反應(yīng)室在每次運行之間不斷更換,因此您可以大限度地減少與維護相關(guān)的生產(chǎn)停機時間。

Beneq 有的預(yù)熱器。 我們可選的預(yù)熱烤箱縮短了加熱時間,并進一步提高了您的吞吐量。




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