CY-S-V 真空防腐型勻膠機
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌
- 型號 CY-S-V
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/7/30 15:10:00
- 訪問次數(shù) 26
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真空防腐型勻膠機性能優(yōu)點:
1.真空防腐型勻膠機主機機箱采用PP外殼材料,耐腐蝕易清潔
2.內(nèi)腔采用易清潔、耐腐蝕超高分子材料(HDPE)
3.采用工業(yè)級別伺服電機,電機設(shè)計避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部。
4.排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計于載片臺之底部 (以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。
5.透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。
真空防腐型勻膠機技術(shù)參數(shù):旋涂程序:至多可存100組程序,每組100步,每個步驟可**到0.1秒
轉(zhuǎn)動速度:0-10,000rpm(更高速可選)
旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載)
馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 :<±1rpm
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度及重復(fù)性:1rpm
CY-S-V真空防腐型勻膠機帶真空數(shù)字顯示功能
工藝時間設(shè)定:0-3,000sec/step,時間設(shè)置精度:0.1sec
支持晶圓尺寸:碎片至200mm(8”圓晶)
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