CY-MSZ210-I I -DCDC-SS 桌面型雙靶磁控鍍膜儀
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌
- 型號(hào) CY-MSZ210-I I -DCDC-SS
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/30 23:37:10
- 訪問次數(shù) 26
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技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 桌面型不銹鋼腔體雙靶磁控鍍膜儀 產(chǎn)品型號(hào) CY-MSZ210-I I -DCDC-SS 樣品臺(tái) 外形尺寸 φ100mm 加熱溫度 ≦500℃ 可調(diào)轉(zhuǎn)速 ≦20rpm 磁控靶槍 配兩支兩英寸磁控靶,靶材尺寸:直徑50.8mm,厚度≦3mm 真空腔體 腔體尺寸 φ210mm X260mm 觀察窗口 全向透明 腔體材料 304不銹鋼 開啟方式 上蓋拆卸式 真空系統(tǒng) 前級(jí)泵 低噪音雙極旋片泵 分子泵 低噪音大抽速渦輪分子泵 真空測(cè)量 復(fù)合真空計(jì),量程:10-5~105Pa 抽氣接口 KF16 抽氣接口 KF40 排氣接口 KF16 系統(tǒng)真空 1.0×10-4Pa 供電電源 AC 220V 50/60Hz 抽氣速率 分子泵抽速600L/s,前級(jí)泵抽速1.1L/s 電源配置 電源數(shù)量 直流電源兩套 輸出功率 500W 其他參數(shù) 供電電壓 AC220V,50Hz 整機(jī)功率 4kW 整機(jī)尺寸 550mm X 350mm X900mm
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