CY-MSZ180PX-I-DC-Q 桌面型偏壓單靶磁控濺射鍍膜儀
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌
- 型號 CY-MSZ180PX-I-DC-Q
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/7/30 23:52:42
- 訪問次數(shù) 34
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本設(shè)備為帶偏壓的桌面型單靶磁控鍍膜儀,可用于一般金屬薄膜的制備。設(shè)備同時配有偏壓電源,可以用來進(jìn)行進(jìn)行濺射前的等離子清洗和濺射過程中施加偏壓。
本套配置采用石英真空腔體,鍍膜過程全向可視,便于實驗的觀察記錄,腔體設(shè)計開啟方便,易于清理,十分適合實驗室使用。同時設(shè)備配有旋轉(zhuǎn)加熱樣品臺,可以有效提高薄膜的均勻性和成膜的質(zhì)量。整機采用模塊化設(shè)計,操作邏輯簡單,操作界面直觀,利于上手。
單靶磁控鍍膜儀技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 桌面型偏壓單靶磁控濺射鍍膜儀 產(chǎn)品型號 CY-MSZ180PX-I-DC-Q 樣品臺 外形尺寸 φ100mm 加熱溫度 ≦500℃ 可調(diào)轉(zhuǎn)速 ≦20rpm 磁控靶槍 配一支兩英寸磁控靶,靶材尺寸:直徑50.8mm,厚度≦3mm 真空腔體 腔體尺寸 φ180mm X 215mm 觀察窗口 全向透明 腔體材料 高純石英 開啟方式 上蓋拆卸式 真空系統(tǒng) 前級泵 低噪音雙極旋片泵 分子泵 低噪音大抽速渦輪分子泵 真空測量 復(fù)合真空計,量程:10-5~105Pa 抽氣接口 KF16 抽氣接口 KF40 排氣接口 KF16 系統(tǒng)真空 1.0×10-4Pa 供電電源 AC 220V 50/60Hz 抽氣速率 分子泵抽速600L/s,前級泵抽速1.1L/s 電源配置 電源數(shù)量 射頻電源一套 輸出功率500 其他參數(shù) 供電電壓 AC220V,50Hz 整機功率 2kW 整機尺寸 550mm X 350mm X400mm
500W
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