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CY-MSZ300-I-DC-Q 桌面型偏置靶單靶磁控鍍膜儀

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司位于鄭州市*開發(fā)區(qū),是一家專業(yè)從事材料制備設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為一體的高科技公司。重點(diǎn)專注于CVD石墨烯制備設(shè)備、熒光粉燒結(jié)設(shè)備、氧化鋯生物陶瓷燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備、陶瓷材料的微波燒結(jié)、稀有金屬的區(qū)域提純等研究發(fā)展方向。

鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的研發(fā)團(tuán)隊(duì)?wèi){借自身在熱處理技術(shù)方面的專業(yè)知識(shí)和豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),先后研發(fā)出了多款*材料制備設(shè)備。主要產(chǎn)品有:微波燒結(jié)爐、真空管式爐、箱式電阻爐、高頻感應(yīng)爐、氧化鋯燒結(jié)爐、熒光粉燒結(jié)爐、晶體退火爐、電池材料燒結(jié)爐、旋轉(zhuǎn)管式爐、立式管式爐、CVD管式爐等;

其他的產(chǎn)品還有:等離子清洗機(jī)、真空手套箱、真空干燥箱、環(huán)境模擬測(cè)試柜、行星球磨機(jī)、高純石英管、99剛玉管、真空法蘭等。

近年來,在社會(huì)各界的關(guān)心支持下,公司不斷發(fā)展壯大,與國(guó)內(nèi)外多所高校和科研單位建立起了合作關(guān)系;公司還聘請(qǐng)了多位國(guó)內(nèi)外重點(diǎn)高校的教授,博導(dǎo)為公司常年的技術(shù)顧問,他們時(shí)刻與國(guó)內(nèi)外學(xué)術(shù)界保持交流,出國(guó)訪問,并親臨一線指導(dǎo)產(chǎn)品的生產(chǎn)和研發(fā),使我公司的產(chǎn)品不斷完善,并緊跟世界研究熱點(diǎn),推出相關(guān)的新產(chǎn)品。產(chǎn)品遠(yuǎn)銷歐美、日韓等國(guó)家,并在國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)獲得業(yè)界*好評(píng)。

如果您正在被國(guó)貨的產(chǎn)品質(zhì)量所困擾,選擇我們將改變您對(duì)國(guó)貨的某些觀念;如果您正在為自己的實(shí)驗(yàn)方案的實(shí)施而茫然,選擇我們將有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)為您量身定做!如果您正在為故障設(shè)備的售后無人理會(huì)而發(fā)愁,選擇我們一切的問題將由我們負(fù)責(zé)到底。鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的誠信、實(shí)力和產(chǎn)品質(zhì)量獲得業(yè)界的認(rèn)可。歡迎各界朋友蒞臨參觀、指導(dǎo)和業(yè)務(wù)洽談。

 

管式爐,氣氛爐,馬弗爐,等離子磁控濺鍍膜儀,等離子清洗機(jī),切斷機(jī),拋光機(jī)

本設(shè)備為偏置靶型單靶磁控鍍膜儀,磁控靶偏置于腔體一側(cè),濺射范圍可覆蓋樣品臺(tái)一半,通過樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)可以實(shí)現(xiàn)更大樣品的均勻鍍膜。理論*大支持樣品直徑為180mm。設(shè)備外形為桌面級(jí)別,大大減少了安裝場(chǎng)地需求。設(shè)備配有一個(gè)直流電源,可用于金屬及其他導(dǎo)電材料的濺射。設(shè)備真空系統(tǒng)采用渦輪分子泵組,抽氣速度快,極限真空度高,真空性能優(yōu)異。本設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊功能完善便于使用,非常適合用于各類鍍膜試驗(yàn)。

偏置靶型單靶磁控鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

CY-MSZ300G-I-DC-Q  桌面型大腔體偏置靶單靶磁控鍍膜儀

樣品臺(tái)

尺寸

φ150mm

轉(zhuǎn)速

轉(zhuǎn)速0-20rpm可調(diào)

磁控濺射靶

數(shù)量

2” x1  偏置于腔體一側(cè) 

真空腔體

腔體尺寸

φ300mm X 200mm

觀察窗口

全向可視

腔體材料

高純石英

開啟方式

頂蓋拆卸式

下法蘭

裝有旋轉(zhuǎn)式樣品臺(tái)及進(jìn)出氣口

真空系統(tǒng)

機(jī)械泵

雙級(jí)旋片泵

抽氣接口

KF16

分子泵

渦輪分子泵

抽氣接口

KF40

真空測(cè)量

電阻規(guī)+電離規(guī)復(fù)合真空計(jì)

排氣接口

KF40

極限真空

1.0E-3Pa

供電電源

AC 220V 50/60Hz

抽氣速率

前級(jí)泵 1.1L/s 分子泵:60L/S

電源配置

數(shù)量

直流電源 x1

*大輸出功率

直流電源300W

 

其他

供電電壓

AC220V,50Hz

整機(jī)尺寸

500mm X 320mm X6200mm

整機(jī)功率

2kW 





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