CY-MSZ254-II-DCRF-SS 桌面型磁控濺射鍍膜儀上置靶槍
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌
- 型號(hào) CY-MSZ254-II-DCRF-SS
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/31 8:21:53
- 訪問次數(shù) 30
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磁控濺射鍍膜儀產(chǎn)品特點(diǎn):
? 高效鍍膜:采用磁控濺射技術(shù),沉積速率高,薄膜均勻性好。? 多功能應(yīng)用:支持多種靶材和基材,適用于不同材料的薄膜沉積。
? 智能控制:配備的控制系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的工藝參數(shù)控制。
? 模塊化設(shè)計(jì):方便維護(hù)和升級(jí),可根據(jù)需求定制各種功能模塊。
? 環(huán)境友好:低能耗設(shè)計(jì),減少對(duì)環(huán)境的影響。
磁控濺射鍍膜儀技術(shù)參數(shù):
參數(shù)名稱 | 參數(shù)說明 | |
產(chǎn)品名稱 | 桌面型前開門雙靶磁控濺射鍍膜儀 | |
產(chǎn)品型號(hào) | CY-MSZ254-II-DCRF-SS | |
真空腔 | 腔體材質(zhì) | 304不銹鋼焊接而成,表面做拋光處理 |
取放模式 | 前開門方式取放樣品和靶材 | |
觀察窗 | 直徑100mm真空窗口,配有磁力擋板,防止污染 | |
樣品臺(tái) | 樣品尺寸 | 直徑≦100mm的平面樣品均可 |
旋轉(zhuǎn)速度 | 不旋轉(zhuǎn)和旋轉(zhuǎn)型(0-30RPM)可選 | |
加熱溫度 | RT-500℃;RT-800℃;RT-1000℃可選 | |
磁控靶 | 靶槍類型 | 普通永磁靶,可調(diào)角度 |
靶材尺寸 | 直徑2英寸,厚度≦3mm, | |
濺射功率 | 300W | |
濺射方式 | 直流濺射 | |
工作真空 | 0.3-3Pa | |
電源 | 直流電源 300W *2 | |
濺射氣體 | 高純氬氣,純度99.99% | |
真空測(cè)量 | 復(fù)合真空計(jì),電阻規(guī)+電離規(guī),測(cè)量范圍:105-10-5Pa | |
真空獲取 | 前級(jí)泵 | 抽速 1.1L/S |
分子泵 | 抽速 600L/S | |
膜厚測(cè)量 | 通常配CYKY膜厚測(cè)量?jī)x | |
也可選配進(jìn)口品牌,價(jià)格額外計(jì)算 | ||
外形尺寸 | 550mm*350mm*450mm | |
包裝尺寸 | 770×720*730mm | |
包裝重量 | 110 KG |
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