CY-MSH300P-II-DCRF-SS 帶偏壓雙靶磁控鍍膜儀
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌
- 型號 CY-MSH300P-II-DCRF-SS
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/31 8:41:16
- 訪問次數(shù) 30
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技術(shù)參數(shù):
項(xiàng)目 | 明細(xì) | |
產(chǎn)品型號 | CY-MSH300P-II-DCRF-SS | |
供電電壓 | AC220V,50Hz | |
整機(jī)功率 | 3KW | |
極限真空度 | 10-6torr | |
載樣臺參數(shù) | 尺寸 | φ140mm |
加熱溫度 | *高500℃ | |
控溫精度 | ±1℃ | |
轉(zhuǎn)速 | 1-20rpm可調(diào) | |
磁控濺射頭參數(shù) | 數(shù)量 | 2個(gè)2”磁控濺射頭 |
冷卻方式 | 水冷,所需流速10L/min | |
水冷機(jī)規(guī)格 | 10L/min流速的循環(huán)水冷機(jī) | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | φ300mm X 300mm H |
腔體材料 | 不銹鋼 | |
觀察窗口 | φ100mm | |
開啟方式 | 上頂開式,便于更換靶材 | |
氣體流量控制器 | 2路分別通Ar,N2; 量程均為0-100sccm | |
真空泵 | 配有一套分子泵系統(tǒng),抽速600L/S | |
膜厚儀 | 石英振動薄膜測厚儀一臺,分辨率0.10 ? | |
濺射電源 | 直流電源一臺,1000W,適用于制備金屬膜 射頻電源一臺,500W,適用于非金屬鍍膜 | |
操作方式 | 面板按鈕操作 | |
整機(jī)尺寸 | 1400mm X 750mm X 1300mm | |
整機(jī)重量 | 300kg |
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