CY-MSH300- II-DCDC-SS 雙靶磁控濺射鍍膜儀(直流)
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌
- 型號(hào) CY-MSH300- II-DCDC-SS
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/31 8:58:31
- 訪問(wèn)次數(shù) 28
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CY-MSH300- II-DCDC-SS雙靶磁控濺射鍍膜儀(直流)為我公司研發(fā)的實(shí)驗(yàn)室專用鍍膜儀,設(shè)備可選配直流電源,和射頻電源,功率從500W-1000W不等,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜等。
磁控濺射相較于普通的等離子濺射擁有能量高速度快的優(yōu)點(diǎn),鍍膜速率高,樣品溫升低,是典型的高速低溫濺射。磁控靶配有水冷夾層,水冷機(jī)能夠有效的帶走熱量,避免熱量在靶面聚集,使磁控鍍膜能長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作。
設(shè)備經(jīng)過(guò)緊湊化設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了體積與性能的平衡,造型美觀功能齊全。整機(jī)均采用觸控屏控制,內(nèi)置一鍵式鍍膜程序,操作簡(jiǎn)單易上手,是一款實(shí)驗(yàn)室制備薄膜的理想設(shè)備。
技術(shù)參數(shù):
項(xiàng)目 | 明細(xì) | |
產(chǎn)品型號(hào) | CY-MSH300- II-DCDC-SS | |
供電電壓 | AC220V,50Hz | |
整機(jī)功率 | 4KW | |
系統(tǒng)真空 | ≦5×10-4Pa | |
樣品臺(tái) | 外形尺寸 | φ185mm |
加熱溫度 | ≦500℃ | |
控溫精度 | ±1℃ | |
可調(diào)轉(zhuǎn)速 | ≦20rpm | |
磁控靶槍 | 靶材尺寸 | 直徑Φ50.8mm,厚度≦3mm |
冷卻模式 | 循環(huán)水冷 | |
水流大小 | 不小于10L/Min | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ325mm,高度500mm |
腔體材質(zhì) | SUU304不銹鋼 | |
觀察窗口 | 直徑φ100mm | |
開(kāi)啟方式 | 頂開(kāi)式 | |
氣體控制 | 1路質(zhì)量流量計(jì)用于控制Ar流量,量程為:200SCCM | |
真空系統(tǒng) | 配分子泵系統(tǒng)1套,氣體抽速600L/S | |
膜厚測(cè)量 | 可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ? | |
濺射電源 | 直流電源500W*2 | |
控制系統(tǒng) | CYKY自研專業(yè)級(jí)控制系統(tǒng) | |
設(shè)備尺寸 | 600mm × 650mm × 1280mm | |
設(shè)備重量 | 350kg |
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