CY-EVZ180-I-H-Q 手套箱用小型蒸發(fā)鍍膜儀
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌
- 型號 CY-EVZ180-I-H-Q
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/7/31 9:44:14
- 訪問次數(shù) 82
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本產(chǎn)品為手套箱專用型小型蒸發(fā)鍍膜儀,可提供*大100A的鍍膜電流,*大蒸發(fā)溫度可達(dá)1700℃,能夠滿足常見金屬及部分非金屬的蒸鍍。真空腔體采用高純石英制作,具有便于觀察鍍膜過程,易于清洗的優(yōu)點(diǎn);配合分子泵組可達(dá)到5x10-4Pa極限真空,能夠有效保證蒸鍍薄膜的純凈度和結(jié)合力。儀器體積小巧,經(jīng)過小型化設(shè)計,可有效節(jié)約實驗室空間,專為手套箱內(nèi)使用設(shè)計;操作簡單,對不同材料的適應(yīng)性強(qiáng),十分適合實驗室選購。
手套箱專用型小型蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | 手套箱用小型蒸發(fā)鍍膜儀 | |
產(chǎn)品型號 | CY-EVZ180-I-H-Q | |
樣品臺 | 外形尺寸 | 直徑φ60mm |
轉(zhuǎn)速 | ≦20rpm | |
至蒸發(fā)源間距 | 20~55mm 連續(xù)可調(diào) | |
熱蒸發(fā)源 | 有機(jī)蒸發(fā)源(石英舟和鎢絲發(fā)熱源) | |
蒸發(fā)電源 | 每個蒸發(fā)源配一組獨(dú)立電源 | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ180mm,高度100mm |
觀察窗口 | 直徑φ60mm | |
腔體材質(zhì) | 高純石英 | |
開啟方式 | 上開啟式 | |
膜厚測量 | 晶體膜厚測量儀(也可選膜厚控制儀) | |
真空系統(tǒng) | 前級泵 | 雙極旋片泵,氣體抽速1.1L/S |
次級泵 | 渦輪分子泵,氣體抽速600L/S | |
真空測量 | 復(fù)合真空計(電離規(guī)+電阻規(guī)) | |
系統(tǒng)真空 | 5×10-4Pa | |
控制系統(tǒng) | CYKY自研專業(yè)級控制器 | |
其他參數(shù) | 供電電源 | AC220V,50Hz |
整機(jī)尺寸 | 600mm×600mm×750mm | |
整機(jī)功率 | 1200W | |
整機(jī)重量 | 40kg |
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