SMH560LM系列 直線電機(jī)機(jī)械臺(tái)采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，直驅(qū)電機(jī)特點(diǎn)主要有速度快、動(dòng)態(tài)性能好、摩擦力小，易于實(shí)現(xiàn)精密位置控制，非常適合大行程，高速度和高精度應(yīng)用。

SMH560LM系列 直線電機(jī)機(jī)械臺(tái)使用高分辨率光柵，電子分辨率可達(dá)1nm，通過校準(zhǔn)可使平臺(tái)達(dá)到亞微米級(jí)重復(fù)性和定位精度。而低摩擦側(cè)密封保護(hù)其免受灰塵或顆粒污染，保證其長(zhǎng)時(shí)間正常運(yùn)行，延長(zhǎng)維護(hù)周期。 SMH560LM系列為客戶提供線纜管理選項(xiàng)，低摩擦側(cè)封使日常維護(hù)更簡(jiǎn)易。

SMH560LM系列直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)是精密機(jī)械中的關(guān)鍵部件之一，它采用雙電機(jī)驅(qū)動(dòng)，持續(xù)推力664N，峰值推力4480N，適用于重負(fù)載，高速度和加速度的應(yīng)用，主要應(yīng)用于OLED切割、PCB鉆孔、數(shù)控加工、生物技術(shù)、IC封裝設(shè)備、表面形貌測(cè)量等領(lǐng)域。為客戶提供一個(gè)兼具精密定位，高速度和大負(fù)載的精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。

SMH560LM系列平臺(tái)最小步進(jìn)和在位穩(wěn)定性測(cè)試

20nm最小步進(jìn)（實(shí)驗(yàn)室環(huán)境，配置線性放大器測(cè)試）

±10nm在位穩(wěn)定性（實(shí)驗(yàn)室環(huán)境，配置線性放大器測(cè)試）

備注：

(1)適配-AS反饋，以及線性放大器；

(2)空載，需配置相應(yīng)功率的放大器；

(3)默認(rèn)測(cè)試點(diǎn)位置為臺(tái)面上方25mm，單軸指標(biāo)，多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實(shí)際載荷和工作點(diǎn)位置有關(guān)；

(4)其他行程可定制。