CRS115SD系列 絲杠驅(qū)動直線臺是高精密機(jī)械運(yùn)動平臺，采用交流無刷伺服電機(jī)加滾珠絲杠驅(qū)動，配置交叉滾柱導(dǎo)軌，兼具普通伺服電機(jī)驅(qū)動平臺的優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)又有比普通絲杠傳動平臺更小的最小步進(jìn)精度，CRS115SD系列最小步進(jìn)量可以到達(dá)50nm，如果采用線性放大器，最小步進(jìn)精度可以提升到25nm，重復(fù)定位精度小于±0.2μm。CRS115SD系列不僅有接近直驅(qū)電機(jī)一樣的精度性能，還能更加靈活的使用，它既可以作水平直線軸使用，也可以選擇抱閘選項(xiàng)，這樣就作為Z軸立起來與其它水平安裝的直線平臺配合使用。CRS115SD系列有旋轉(zhuǎn)編碼器和直線光柵尺多種反饋配置供客戶選擇，選配旋轉(zhuǎn)編碼器分辨率小于0.2μm，光柵尺選項(xiàng)分辨率小于1nm。

CRS115SD系列 絲杠驅(qū)動直線臺是高精密絲杠傳動平臺，它的主要特點(diǎn)是具有比普通絲杠傳動平臺有更好的重復(fù)定位精度和更小的步進(jìn)量。主要應(yīng)用于OLED切割、PCB鉆孔等激光加工領(lǐng)域的激光器或振鏡調(diào)焦，表面形貌測量的縱向掃描，數(shù)控加工、生物技術(shù)、IC封裝設(shè)備等領(lǐng)域。CRS115SD系列平臺為客戶提供一個能夠?qū)崿F(xiàn)亞微米級定位運(yùn)動平臺。

CRS115SD系列平臺最小步進(jìn)測試

50nm最小步進(jìn)

備注：

（1）有效載荷指標(biāo)適用于單軸系統(tǒng)，并受限于2500公里行程的絲杠和滾珠壽命。

（2）適配-AS，TTL010, TTL100反饋；

（3）適配RTTL5000反饋選項(xiàng)；

（4）使用占空比過高可能會影響精度；

（5）默認(rèn)測試點(diǎn)位置為臺面上方25 mm，單軸指標(biāo)，多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實(shí)際載荷和工作點(diǎn)位置有關(guān)；

（6）多軸配置或定制應(yīng)用指標(biāo)咨詢廠商。