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CY-CVD1500-60-300-3TH-Q 1500℃單溫區(qū)3路浮子供氣高真空CVD系統(tǒng)
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌
- 型號(hào) CY-CVD1500-60-300-3TH-Q
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/31 13:53:28
- 訪問次數(shù) 27
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1500℃單溫區(qū)3路浮子供氣高真空CVD系統(tǒng)管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡(jiǎn)單易上手,即使是非專業(yè)人員經(jīng)過簡(jiǎn)單的培訓(xùn)也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實(shí)驗(yàn)效率。爐管采用高純氧化鋁制成,爐體采用一體式設(shè)計(jì),的設(shè)計(jì)能夠保證系統(tǒng)在1500℃運(yùn)行穩(wěn)定**,加熱元件采用高品質(zhì)硅碳棒,能夠達(dá)到1500℃高溫,若客戶有需求可以定制硅鉬棒加熱元件以達(dá)到更高的1700℃高溫。
系統(tǒng)所配有的三路浮子流量計(jì),可以混合1~3路氣體,較為準(zhǔn)確的配制出實(shí)驗(yàn)所需的混合氣體;另有一壓力表安裝在浮子流量計(jì)正面,可以監(jiān)測(cè)氣體壓力及混合槽壓力。本系統(tǒng)還配有精密分子泵組,可以達(dá)到1.0E-3pa級(jí)別的真空度,較普通機(jī)械泵可以為用戶提供更純凈嚴(yán)苛的實(shí)驗(yàn)環(huán)境。
適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測(cè)等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實(shí)驗(yàn)。
技術(shù)參數(shù):
真 空 管 式 爐 產(chǎn)品型號(hào) CY-CVD1500-60-300-3TH-Q 爐管材質(zhì) 高純氧化鋁 爐管直徑 60mm(可選配50mm、80mm、100mm) 爐管長(zhǎng)度 1000mm 爐膛長(zhǎng)度 400mm 加熱區(qū)長(zhǎng) 300mm 恒溫區(qū)長(zhǎng) 150mm 工作溫度 ≤1450℃ 控溫精度 ±1℃ 控溫模式 30段或50段程序控溫 顯示模式 LCD 密封方式 304不銹鋼真空法蘭 法蘭接口 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 可抽真空 4.4E-3Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 供 氣 系 統(tǒng) 產(chǎn)品型號(hào) CY-3F 氣體通道 3通道 測(cè)量部件 氣體浮子流量計(jì) 測(cè)量量程 A通道:0~100ml/min H2氣 備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時(shí)需要特別注明??筛鶕?jù)客戶的具體要求來選配對(duì)應(yīng)的氣體種類和量程的流量計(jì)。 B通道:16~160ml/min N2氣 C通道:25~250ml/min Ar氣 測(cè)量精度 ±2.0% 管道耐壓 3MPa 工作壓差 50~300KPa 連接管道 304不銹鋼 控制閥門 304不銹鋼針閥 接口規(guī)格 進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 排 氣 系 統(tǒng) 產(chǎn)品型號(hào) CY-GZK103-A 分子泵 CY-600 前極泵 旋片泵 抽氣速率 分子泵:600L/S 綜合抽氣性能:20分鐘真空度可達(dá):1.0E-3Pa 旋片泵:1.1L/S 抽氣接口 KF40 排氣接口 KF16 真空測(cè)量 復(fù)合真空計(jì):電阻規(guī)+電離規(guī) 極限真空 1.0E-5Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz
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