FAP系列 定制運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)由高精度ART95系列直線納米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)與ART130-20G系列直驅(qū)擺臺(tái)集合而成六自由度串行結(jié)構(gòu)，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率最大可達(dá)100Hz以上。FAP系列多軸平臺(tái)采用杰出的工業(yè)化設(shè)計(jì)，外觀精致小巧，可以實(shí)現(xiàn)3~6個(gè)自由度的納米級(jí)定位，針對(duì)復(fù)雜的多軸耦合或者封裝，可實(shí)現(xiàn)全滿的高精密位移和角度調(diào)整，為客戶應(yīng)用提供完整的耦合對(duì)準(zhǔn)解決方案，是光子器件大批量制造和組裝的基礎(chǔ)。

隨著新型硅光子學(xué)器件的對(duì)準(zhǔn)公差越來(lái)越小，對(duì)高效率和高精度對(duì)準(zhǔn)的需求越來(lái)越強(qiáng)，FAP系列 定制運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)可以兼顧高效率和高精度。FAP系列平臺(tái)能夠?qū)崿F(xiàn)低至5 nm的最小步進(jìn)，速度高達(dá)400 mm/s，配以功率計(jì)能量模擬量輸入控制與尋光算法、合適的軸數(shù)、行程配置以及工裝夾具設(shè)計(jì)，可很好地滿足了下一代光子學(xué)封裝耦合對(duì)準(zhǔn)的需求。

備注：

（1）適配-AS反饋;

（2）默認(rèn)測(cè)試點(diǎn)位置為臺(tái)面上方20mm處。

（3）默認(rèn)帶-X50-Y50-Z25選項(xiàng)

（4）默認(rèn)帶-X50-Y50-Z25、-R選項(xiàng)

（5）默認(rèn)帶-X50-Y50-Z25、-P、-T選項(xiàng)

（6）需配置線性放大器