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CY-FTM-M4/M6 多通道膜厚監(jiān)控儀
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌
- 型號(hào) CY-FTM-M4/M6
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/31 14:18:07
- 訪問次數(shù) 32
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一、技術(shù)特點(diǎn):
1.多達(dá)六路探頭可同時(shí)監(jiān)控,每路自由設(shè)置,既能獨(dú)立運(yùn)行,也可聯(lián)合工作。
2.每路二組繼電器輸出,到達(dá)設(shè)置厚度自動(dòng)關(guān)閉擋板/蒸發(fā)源;
3.全觸摸屏操作顯示,簡(jiǎn)單易用;
4.提供RS232/RS485接口,MODBUS RTU標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議,多波特率可選,并配有專用控制軟件。
二、應(yīng)用范圍:
適用于普通蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、磁控濺射、離子鍍等真空鍍膜厚度測(cè)量,特別適合多蒸發(fā)源鍍膜機(jī)和多腔室鍍膜機(jī)進(jìn)行膜層監(jiān)控;
膜厚監(jiān)控儀的控制和顯示均通過觸摸屏實(shí)現(xiàn),使您能獲取完整的沉積數(shù)據(jù),包括速率、厚度和鍍膜時(shí)間等。
三、主要參數(shù):
CY-FTM-M4/M6多通道監(jiān)控儀 晶振頻率 6MHz(可選2.5M 3M 5M 9M晶體) 顯示方式 5”彩色觸屏+1路數(shù)碼管顯示速率和實(shí)厚 操作方式 觸摸屏 厚度顯示范圍 0-99μ9999? 厚度實(shí)際分辨率 0.1?(鋁) 厚度顯示分辨率 1? 速率范圍 0-999.9? 速率顯示分辨率 0.1?/s 鍍膜層數(shù) 99層 探頭輸入 4路/6路(可同時(shí)工作) 工具因子 0.01-99.99 材料存儲(chǔ) 257+自定義10種 通 訊 RS232/RS485 MODBUS RTU協(xié)議 擋板/源控制 每路2組觸點(diǎn),到達(dá)厚度關(guān)擋板/蒸發(fā)源 鍍膜顯示 數(shù)值/速率曲線 鍍膜巡回次數(shù) 0-99 機(jī)箱尺寸 480×250×89mm(2U 19”機(jī)箱)
四、特殊功能:
(1)任意設(shè)置每一路的工作狀態(tài),具有人工停止鍍膜功能;
(2)可顯示鍍膜層、材料和使用晶體振蕩頻率百分比;
(3)顯示鍍膜結(jié)束后的監(jiān)測(cè)厚度、晶振頻率、材料和層次。