EPC100 反應(yīng)腔室壓力控制器
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/7/31 16:48:06
- 訪問次數(shù) 104
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創(chuàng)新點
基于機械氣浮活塞的多力平衡技術(shù)
凈化間壓力、重力、彈簧張力及工藝壓力，四種力作用于活塞以保持恒定的工藝壓力，對于某一壓力設(shè)定點而言，合力平衡僅取決于工藝過程壓力，從而實現(xiàn)排氣波動快速調(diào)節(jié)。
帶有軟遲滯補償?shù)碾姍C變頻控制技術(shù)
設(shè)定點不變時，活塞可以自我調(diào)節(jié)控制，設(shè)定點變化時，電機閉環(huán)控制。閉環(huán)控制過程中，根據(jù)實際壓力與設(shè)定壓力的差值，分段制定不同的閾值進行電機變頻控制，越近設(shè)定點電機運動越緩慢，從而達(dá)到壓力穩(wěn)定控制。
氮氣反沖防腐蝕設(shè)計技術(shù)
結(jié)合氣流分層原理“以氣控氣”，利用高壓氮氣對低壓工藝氣體反沖，形成氣體保護層以阻止腐蝕氣體外溢，避免造成壓傳器件腐蝕，從而提高產(chǎn)品使用壽命。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體/集成電路
半導(dǎo)體/封裝
功率半導(dǎo)體
化合物半導(dǎo)體
清潔能源/光伏
科學(xué)研究/實驗器材
技術(shù)指標(biāo)
| 型號 | EPC100 |
| 接觸氣體材料 | 聚四氟乙烯(PTFE) |
| 壓力類型 | 相對壓力 |
| 控制壓力范圍 | -3 ~ -23mmH2O、-3 ~ -50mmH2O |
| 進氣流量范圍 | 0.3 ~ 50SLM |
| 安裝方式 | 水平安裝、垂直安裝 |
| 壓力控制精度 | 干氧工藝：S.P.±1mmH2O |
| 濕氧工藝：S.P.±2mmH2O | |
| 控制信號 | 0~5V |
| 壓力檢測口 | φ6塔型接頭 |
| Drain 接口 | 1/4 NPT內(nèi)螺紋 |
| N2接口 | 1/4 卡套（40 psig ~80psig） |
| 機械進出氣接口 | 1" female NPT |
| 供電電源 | ±15V |
| 電氣接口 | 控壓閥：DB-15針 |
| 控制盒：Conxall-10孔、DB-15孔、DB-9針 |
注意：
氣體壓力控制器出廠通常用氮氣(N2)標(biāo)定
氣體壓力的單位規(guī)定為：Torr(托)；mbar(毫巴) ；mmH2O (毫米水柱)
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：溫度--273.15K（0℃ )；氣壓--101325 Pa（760mm Hg）
在華丞電子 PC 產(chǎn)品中，單位 SCCM 和“mL/min，0°c，1atm”等同，單位 SLM和“L/min，0℃，1atm”等同
F.S.(Full Scale)：滿量程值； S.P.(Set Point)：設(shè)定點值
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