DS312 壓力式氣體質(zhì)量流量控制器
- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/7/31 16:49:26
- 訪問次數(shù) 27
聯(lián)系方式：趙倩男18610520676 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
北京華丞電子有限公司（以下簡稱“華丞電子”）是由北京七星華創(chuàng)流量計有限公司、北京七星華創(chuàng)集成電路裝備有限公司及北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司射頻業(yè)務(wù)單元整合而成的工業(yè)領(lǐng)域核心零部件及解決方案科技企業(yè)，華丞電子立足于集成電路、新能源等工業(yè)領(lǐng)域的科技前沿，集聚了多項先進零部件技術(shù)核心人才，致力于成為一家全面的工業(yè)零部件解決方案供應(yīng)商。
華丞電子傳承了數(shù)十年在流量測控、射頻技術(shù)和自動化設(shè)備等領(lǐng)域的專業(yè)優(yōu)勢，技術(shù)積和創(chuàng)新能力。產(chǎn)品迭代升級的同時，華丞電子依據(jù)客戶新的產(chǎn)品需求不斷探索研究，深挖技術(shù)，創(chuàng)新產(chǎn)品，拓寬產(chǎn)品線，形成了流量測控、壓力測控、氣路系統(tǒng)、射頻電源、匹配器、磁流體密封裝置、傳輸系統(tǒng)、自動化裝備等系列產(chǎn)品，為半導(dǎo)體、光伏、燃料電池、真空鍍膜等領(lǐng)域提供解決方案。華丞電子布局六大研發(fā)/生產(chǎn)基地，營銷服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞等全球主要國家和地區(qū)。
在新的征程上，北京華丞電子有限公司將攜手所有合作伙伴，共同開創(chuàng)電子科技領(lǐng)域的新篇章，為構(gòu)建智慧社會貢獻我們的力量。
氣體質(zhì)量流量計、數(shù)字氣體流量計、氨氣流量控制器、氧氣流量計、質(zhì)量流量控制器
創(chuàng)新點
基于PTC（Pressure，Temperature，Channel）的壓力傳感技術(shù)
全新的壓電閥結(jié)構(gòu)原理技術(shù)
高精度的壓電閥驅(qū)動技術(shù)
符合SEMI要求的材料表面處理技術(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體—集成電路
半導(dǎo)體—微機電系統(tǒng)
功率半導(dǎo)體
化合物半導(dǎo)體
半導(dǎo)體—封裝
半導(dǎo)體顯示
半導(dǎo)體照明
技術(shù)指標
| 型號 | DS312 |
| 流量規(guī)格 | 50~10000sccm （DS312C） |
| 50~5000sccm （DS312W） | |
| 閥類型 | 常閉 |
| 進口壓力 | 240～450kPaA 流量規(guī)格≤5SLM |
| 350～450kPaA 流量規(guī)格＞5SLM | |
| 出口壓力 | ≤3.3kPaA （DS312C） |
| ≤13.3kPaA （DS312W） | |
| 耐壓 | 1Mpa |
| 工作溫度 | 10℃ ~ 45℃ |
| 外漏 | 1 x 10-11 Pa·m³ / sec He |
| 精度 ( 包含線性、標定系統(tǒng)精度等) | <= ±1%S.P. （>=10%F.S. ） |
| 重復(fù)精度 | <= ±0.3%S.P. （>=10%F.S. ） |
| 響應(yīng)時間（流量達到設(shè)定點的±2%內(nèi)） | <= 0.5 sec |
| 標準電源接頭 | DeviceNet接頭 |
| 通訊協(xié)議 | DeviceNet |
| 標準氣路接頭 | IGS-C, IGS-W |
| 接氣部分材質(zhì) | F20 |
注：
1. F.S.： 滿量程full scale
2. kPaA：kPa，絕壓
采購中心
化工儀器網(wǎng)