CS312 熱式數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/31 16:50:58
- 訪問次數(shù) 75
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創(chuàng)新點(diǎn)
恒功率傳感技術(shù)
傳感器采用對(duì)稱設(shè)計(jì),保持上下游熱傳導(dǎo)平衡,選用高性能保溫材質(zhì),有效抑制零漂現(xiàn)象。
電化學(xué)拋光技術(shù)
采用電化學(xué)拋光技術(shù)進(jìn)行表面處理,機(jī)械部件內(nèi)部表面粗糙度均達(dá)到5μinch Ra,具有的耐腐蝕性能。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體—集成電路
半導(dǎo)體照明
特種工業(yè)—真空鍍膜
科學(xué)研究—實(shí)驗(yàn)器材
技術(shù)指標(biāo)
| 技術(shù)名稱 | CS312 |
| 流量規(guī)格(N?) | (0~1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM(0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM |
| 準(zhǔn)確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) (±0.80% S.P. (≥30% F.S.) optional) ±0.35% F.S. (＜35% F.S.) (±0.24% F.S. (＜30% F.S.) optional) |
| 漏率 | ≤5×10?¹² Pa·m³/s |
| 響 應(yīng) 時(shí) 間 | ≤0.8 sec |
| 工作壓差范圍 | 0.05~0.35MPa流量規(guī)格≤10SLM 0.15~0.35MPa 10SLM<流量規(guī)格≤30SLM 0.30~0.50MPa 30SLM<流量規(guī)格≤50SLM |
| 溫 度 系 數(shù) | 零點(diǎn): ≤±0.02%F.S./℃; 調(diào)節(jié)時(shí): ≤±0.05%F.S./℃ |
| 重 復(fù) 精 度 | ±0.2% F.S. |
| 線性 | ±0.5% F.S. |
| 耐壓 | 3.5MPa |
| 密 封 材 料 | 金屬密封 |
| 工作環(huán)境溫度 | (0~50) ℃ |
| 輸 入 信 號(hào) | Analog: 0~5V, RS485, DeviceNet |
| 輸 出 信 號(hào) | Analog: 0~5V, RS485, DeviceNet |
| 電源 | ±8~±16 VDC (雙極)或+14~+28 VDC(單極) |
| 標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | VCR1/4陽接頭;1.125"C型密封接頭;1.125"W型密封接頭 |
采購中心
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