CS330 熱式數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/7/31 16:52:20
- 訪問次數(shù) 75
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創(chuàng)新點(diǎn)
VCP的閥控技術(shù)
閥控技術(shù)采用多項新成果，統(tǒng)稱VCP技術(shù)，該結(jié)構(gòu)閥內(nèi)部氣體死區(qū)空間少，閥響應(yīng)速度快，無磁滯現(xiàn)象。采用VCP技術(shù)可以有效的提高氣體質(zhì)量流量控制器品質(zhì)。
恒功率傳感器
采用了一種新型恒功率式傳感器技術(shù)，該技術(shù)采用保持傳感器工作狀態(tài)恒定方法，大幅度提高了系統(tǒng)測量精度、響應(yīng)速度等多項指標(biāo)。
數(shù)字傳感器補(bǔ)償技術(shù)
采用一種數(shù)字式傳感器電橋平衡方法，可以用連續(xù)的電壓對傳感器驅(qū)動電壓進(jìn)行溫度補(bǔ)償，提高了產(chǎn)品傳感器對于溫度漂移抑制，使產(chǎn)品可以抵抗溫度劇烈變化。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體—集成電路
清潔能源—光伏
特種工業(yè)—真空鍍膜
科學(xué)研究—實驗器材
技術(shù)指標(biāo)
| 型號 | CS330 | |||
| C | D | |||
| 流量規(guī)格(N?) | (100,200) SLM | |||
| 準(zhǔn)確度 | ±1.0% S.P.(>35% F.S.) ±0.35% F.S.(≤35% F.S.) | |||
| 線性 | ±0.5% F.S. | |||
| 重 復(fù) 精 度 | ±0.2% F.S. | |||
| 響 應(yīng) 時 間 | ≤1sec | |||
| 閥 類型 | Normally Closed | No Valve | Normally Closed | No Valve |
| 工作壓差范圍 | 400~600KPa | <0.03 MPa | 400~600KPa | <0.03 MPa |
| 溫 度 系 數(shù) | Zero:≤±0.02%F.S./℃; Span:≤±0.1% F.S./℃ | |||
| 工作壓力 | 0.6 MPa | |||
| 耐壓 | 1 MPa | |||
| 零漂 | <0.6%F.S. per year without autozero | |||
| 漏率 | 5x10?¹²Pa·m³/sec He (5x10?¹¹atm.cc/sec He) | |||
| 密 封 材 料 | Metal | |||
| 工作環(huán)境溫度 | (0~50) ℃ | |||
| 輸 入 信 號 | Digital: RS485/DeviceNet/ EtherCAT* Analog:(0~5)VDC or(4~20)mA | N/A | Digital: RS485/DeviceNet/EtherCAT* Analog:(0~5)VDC or(4~20)mA | N/A |
| 輸 出 信 號 | Digital: RS485 or DeviceNet or EtherCAT Analog:(0~5)VDC or(4~20)mA | |||
| 電源 | ±8~±16 VDC or+14~+28 VDC(400mA) | |||
| 表面化學(xué)成分 | Cr/ Fe ratio>2.0 CrO thickness >20 Angstroms | |||
| 標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | VCR 1/2"M | |||
| 電源接頭形式 | 9 pin male sub-D; 15 pin male sub-D;DeviceNet male; EtherCAT* male | |||
| 表面粗糙度 | 5 μinch Ra | 25 μinch Ra | ||
| 重量 | 1.8kg | 1.6kg | 1.8kg | 1.6kg |
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