PS100 電容薄膜真空規(guī)
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/8/1 8:28:32
- 訪問次數(shù) 42
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創(chuàng)新點
壓力實時測量
響應(yīng)時間快，氣體壓力會實時以模擬量數(shù)據(jù)輸出。
加熱功能
可加熱功能并維持恒定溫度，誤差在±0.5℃，減小環(huán)境溫度對產(chǎn)品穩(wěn)定性的影響。
設(shè)定壓力/溫度指示
可設(shè)定報警值，低于設(shè)定點報警或高于設(shè)定點報警，壓力或溫度二選一。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導體-集成電路
清潔能源-光伏
技術(shù)指標
| 型號 | PS100 | |
| 指標 | 單位 | 規(guī)格參數(shù) |
| 量程Full Scale Ranges | Torr | 0.1 ~1000等（可定制） |
| 精度Accuracy | % of reading | ±0.15% ~ ±1% |
| 分辨率 Resolution | % of F.S. | 0.00% |
| 零點溫漂系數(shù)Zero Temperature Coefficient | % of F.S./℃ | 0.02%(0.03% for <10Torr) |
| 溫漂系數(shù)Span Temperature Coefficient | %of reading/℃ | 0.04% |
| 運行溫度范圍Ambient Operating Temperature | ℃ | 15 ~ 40℃ |
| 加熱溫度 Sensor Heated Temperature | ℃ | 不加熱、45℃~200℃ |
| 預熱時間 Warm-up Time | h | 4 |
| 耐壓極限 Overpressure Limit | Psia | 45（量程 >1Torr) 30 (其它） |
| 工藝側(cè)材料Materials Exposed to Process Gases （excluding optional fittings） | / | 鎳基合金等 |
| 供電電壓Input Power Required | VDC | ±15V±10% DC 24V±10% DC |
| 輸出電壓Output Signal | VDC | 0 ~ 10V |
| Trip Relay規(guī)格Trip Relay Specifications | / | 2個 |
| 電氣接口Electrical Connectors | / | D型15針陽接頭、DeviceNet接頭、EtherCAT接頭 |
| 腔體檢測接口Connection Fittings | / | VCR1/2〞母接頭、VCR1/4〞母接頭、NW16-KF、NW25-KF 等 |
| 安裝方式 Install type | / | 豎放,水平 |
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