?？怂箍礖EXAGON三坐標(biāo)測量機(jī)LeitzInfinity

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Leitz Infinity超高精度三坐標(biāo)測量系統(tǒng)技術(shù)解析

在工業(yè)計(jì)量領(lǐng)域，海克斯康Leitz Infinity重新定義了精度邊界。這款在1200×1000×700mm測量范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)0.3μm+L/1000μm極限精度的設(shè)備，其精度相當(dāng)于人類頭發(fā)直徑的1/300。核心的封閉框架設(shè)計(jì)配合移動(dòng)花崗巖工作臺(tái)，使質(zhì)量比恒定在1.8:1，確保運(yùn)動(dòng)過程中機(jī)械變形量小于0.05μm/m。

革命性的機(jī)械架構(gòu)

• 采用整體鑄鋼基座與燕尾導(dǎo)軌系統(tǒng)，線性軸向重復(fù)性達(dá)±0.08μm

• 預(yù)載荷空氣軸承實(shí)現(xiàn)納米級(jí)運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)性，振動(dòng)抑制比達(dá)15dB@20Hz

• 零膨脹陶瓷光柵系統(tǒng)分辨率1nm，阿貝誤差補(bǔ)償精度0.1μm/m

智能探測系統(tǒng)標(biāo)配的LSP-S4探測系統(tǒng)突破性地將探測力控制在0.5mN以內(nèi)，配合800mm加長桿時(shí)仍保持0.15μm的3D探測精度?？蛇x配的VHSS可變高速掃描技術(shù)，能根據(jù)曲面曲率自動(dòng)調(diào)節(jié)200-800mm/s掃描速度，使渦輪葉片測量效率提升60%。

計(jì)量級(jí)軟件平臺(tái)QUINDOS軟件系統(tǒng)集成虛擬三坐標(biāo)功能，可預(yù)先仿真測量不確定度（U=0.12μm，k=2）。其溫度補(bǔ)償算法能實(shí)時(shí)修正0.01℃級(jí)別的環(huán)境波動(dòng)，確保在±1℃溫差環(huán)境下精度損失不超過0.2μm。

典型行業(yè)應(yīng)用在航空領(lǐng)域，完成發(fā)動(dòng)機(jī)整體葉盤0.005mm輪廓度檢測；在光學(xué)行業(yè)，實(shí)現(xiàn)φ800mm天文鏡面0.1λ（λ=632.8nm）的面形檢測。通過四軸聯(lián)動(dòng)掃描技術(shù)，壓縮機(jī)轉(zhuǎn)子全尺寸檢測時(shí)間縮短至35分鐘，相較傳統(tǒng)方法提升4倍效率。

作為通過VDI/VDE 2617和ISO 10360-8雙認(rèn)證的設(shè)備，Leitz Infinity正在半導(dǎo)體掩模版、慣性導(dǎo)航零件等制造領(lǐng)域，構(gòu)建起全新的精度基準(zhǔn)體系。