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海克斯康Hexagon三坐標(biāo)測量LeitzReference

計(jì)量基準(zhǔn)級精密測量的技術(shù)

Leitz Reference系列代表著?？怂箍翟诠I(yè)計(jì)量領(lǐng)域的最高技術(shù)成就，專為計(jì)量實(shí)驗(yàn)室和制造領(lǐng)域設(shè)計(jì)。作為幾何量測量的標(biāo)準(zhǔn)器，其突破性的技術(shù)架構(gòu)重新定義了精密測量的可能性邊界。

一、革命性的測量系統(tǒng)架構(gòu)

1. QUARTZ納米級計(jì)量系統(tǒng)：

• 采用零膨脹石英玻璃光柵尺，熱膨脹系數(shù)低至0.05×10??/K

• 配備雙頻激光干涉儀，實(shí)現(xiàn)0.1nm分辨率

• 六軸全閉環(huán)控制，實(shí)時(shí)補(bǔ)償位置偏差

2. THERMO-ULTRA環(huán)境控制系統(tǒng)：

• 64點(diǎn)溫度監(jiān)測網(wǎng)絡(luò)，采樣頻率10Hz

• 自適應(yīng)補(bǔ)償算法，溫度穩(wěn)定性±0.01℃/4h

• 主動(dòng)氣浮隔震平臺(tái)，振動(dòng)抑制>40dB(15-100Hz)

二、突破性的性能指標(biāo)

三、創(chuàng)新的應(yīng)用解決方案

1. 標(biāo)準(zhǔn)器溯源檢測：

• 可校準(zhǔn)1等量塊、標(biāo)準(zhǔn)環(huán)規(guī)等最高等級計(jì)量器具

• 支持PLM模式下的絕對測量，不確定度<0.1μm

2. 芯片制造質(zhì)量控制：

• 晶圓翹曲度測量分辨率達(dá)5nm

• 光刻機(jī)工件臺(tái)平面度全自動(dòng)檢測

3. 航空航天關(guān)鍵部件：

• 發(fā)動(dòng)機(jī)葉片葉型輪廓測量，點(diǎn)距可調(diào)至10μm

• 航天器光學(xué)基準(zhǔn)面共面性分析

四、智能化的測量流程

1. REFERENCE-SPHERE智能校準(zhǔn)系統(tǒng)：

• 內(nèi)置?50mm基準(zhǔn)球，自校準(zhǔn)時(shí)間<15分鐘

• 全自動(dòng)誤差映射，生成補(bǔ)償系數(shù)矩陣

2. LEITZ-EXPERT測量軟件：

• 支持ISO 14253-1標(biāo)準(zhǔn)下的不確定性評估

• 可生成符合ILAC-P14要求的校準(zhǔn)證書

3. 遠(yuǎn)程監(jiān)控與診斷：

• 4G/5G數(shù)據(jù)傳輸，實(shí)時(shí)監(jiān)測設(shè)備狀態(tài)

• AI驅(qū)動(dòng)的預(yù)測性維護(hù)系統(tǒng)

重新定義精密測量的未來

Leitz Reference不僅是一臺(tái)測量設(shè)備，更是現(xiàn)代制造業(yè)的質(zhì)量基石。其突破性的技術(shù)架構(gòu)為芯片制造、航空航天、精密光學(xué)等領(lǐng)域提供了可靠的計(jì)量保障，將持續(xù)工業(yè)計(jì)量技術(shù)的新發(fā)展。