派克微型比例閥910-000046-038折扣好
- 公司名稱 東莞市廣聯(lián)自動(dòng)化科技有限公司
- 品牌 PARKER/美國(guó)派克
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/8/7 17:16:22
- 訪問(wèn)次數(shù) 95
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),石油,制藥/生物制藥,綜合 |
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910-000046-038 VSONC-5S11-VE-F1是美國(guó)PARKER派克微型比例閥是派克VSO系列比例閥,下面為大家分享一下關(guān)于VSO系列派克比例閥的產(chǎn)品特征
Parker VSO® 微型比例閥
The VSO®,電壓敏感孔徑是微型電磁閥通過(guò)控制輸入電流控制氣體流量,你可以通過(guò)直流電或者脈寬調(diào)制閉環(huán)控制提供的系統(tǒng)性能。全球的醫(yī)療及分析儀器制造商選擇VSO®做為他們的微型比例閥。
特征
• 操作壓力可以達(dá)到150 psig并且有一系列的通徑。
• 滿足0.2 sccm 的泄漏標(biāo)準(zhǔn)1億次的使用壽命和高重復(fù)性。
• 熱補(bǔ)償保證正常的流量。
• 所有的閥可以氧氣或分析性清潔。
• 系列化性能可追溯。
• 可以使用直流電流或脈寬調(diào)制閉環(huán)控制提供反饋系統(tǒng)特性。
• 符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)。
典型應(yīng)用:
• 氣相色譜分析
• 質(zhì)譜分析
• 呼吸機(jī)
• 制氧機(jī)/貯存器
• 麻醉機(jī)及監(jiān)護(hù)
• 壓力及流量控制
• 質(zhì)量流量控制
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美國(guó)PARKER微型比例閥910-000046-038產(chǎn)品可以應(yīng)用于半導(dǎo)體制造和工業(yè)自動(dòng)化以及特殊場(chǎng)景等
半導(dǎo)體制造:支撐芯片生產(chǎn)的精密工藝
1. 刻蝕與薄膜沉積
等離子體刻蝕設(shè)備:
調(diào)節(jié)反應(yīng)氣體(如 CF?、Cl?)的流量和壓力,控制等離子體密度與刻蝕速率,確保納米級(jí)圖形轉(zhuǎn)移精度。例如,在 FinFET 制造中,通過(guò)比例閥實(shí)現(xiàn)刻蝕深度誤差小于 ±2nm。
化學(xué)氣相沉積(CVD):
動(dòng)態(tài)控制前驅(qū)體氣體(如 SiH?、NH?)的混合比例,優(yōu)化薄膜均勻性(厚度偏差<1%)和臺(tái)階覆蓋率,支撐 3D NAND 堆疊工藝。
2. 晶圓清洗與封裝
去離子水(DI Water)分配系統(tǒng):
調(diào)節(jié)高壓清洗液的流量和壓力,實(shí)現(xiàn)顆粒污染物的高效去除,同時(shí)避免晶圓表面損傷。例如,在 14nm 以下制程中,需將壓力波動(dòng)控制在 ±0.05bar 以內(nèi)。
倒裝焊(Flip Chip)設(shè)備:
控制助焊劑噴霧的流量和霧化效果,提升芯片與基板的焊接良率,減少空洞率(通常要求<5%)。
工業(yè)自動(dòng)化:提升生產(chǎn)效率與可靠性
1. 精密流體控制
噴墨打印頭:
調(diào)節(jié)墨水腔室的氣壓,實(shí)現(xiàn)皮升級(jí)液滴噴射(如工業(yè)噴頭的墨滴體積誤差<5%),支撐高精度 3D 打印和電子電路直寫(xiě)。
食品飲料灌裝:
控制碳酸飲料的 CO?注入量,確保氣泡含量穩(wěn)定(如啤酒灌裝中 CO?濃度差<0.1%),同時(shí)通過(guò)防滴漏設(shè)計(jì)避免包裝污染。
2. 機(jī)器人與運(yùn)動(dòng)控制
協(xié)作機(jī)器人關(guān)節(jié):
作為氣動(dòng)肌肉或液壓驅(qū)動(dòng)的壓力調(diào)節(jié)閥,實(shí)現(xiàn)柔性抓取與力控操作。例如,在 3C 產(chǎn)品組裝中,通過(guò)閉環(huán)控制使抓取力誤差<±0.5N,避免玻璃屏碎裂。
AGV(自動(dòng)導(dǎo)引車):
調(diào)節(jié)液壓懸掛系統(tǒng)的壓力,適應(yīng)不同地面坡度和負(fù)載變化,確保貨物運(yùn)輸?shù)钠椒€(wěn)性(振動(dòng)幅度<±2mm)。
特殊場(chǎng)景:適應(yīng)環(huán)境與新興需求
1. 航空航天與國(guó)防
無(wú)人機(jī)燃油調(diào)節(jié):
在高空低溫環(huán)境下,通過(guò)熱補(bǔ)償功能維持燃油流量穩(wěn)定,確保發(fā)動(dòng)機(jī)燃燒效率。例如,在海拔 5000 米以上,流量控制精度需保持在 ±1% FS 以內(nèi)。
推進(jìn)系統(tǒng):
作為姿態(tài)控制發(fā)動(dòng)機(jī)的燃?xì)饬髁块y,實(shí)現(xiàn)亞毫秒級(jí)響應(yīng),支撐的快速機(jī)動(dòng)與末段攔截。
2. 生物制藥與實(shí)驗(yàn)室自動(dòng)化
生物反應(yīng)器:
調(diào)節(jié)發(fā)酵罐的無(wú)菌空氣流量,優(yōu)化溶氧(DO)和二氧化碳(CO?)濃度,提升重組蛋白表達(dá)量。例如,在 CHO 細(xì)胞培養(yǎng)中,通過(guò) PID 算法實(shí)現(xiàn) DO 控制精度 ±0.5%。
高通量篩選系統(tǒng):
配合移液工作站實(shí)現(xiàn) μL 級(jí)試劑分配,支撐藥物研發(fā)中的化合物庫(kù)構(gòu)建(如每孔加樣量差<±0.5%)。
關(guān)鍵技術(shù)優(yōu)勢(shì)與場(chǎng)景適配邏輯
微型化設(shè)計(jì):
閥體尺寸僅 45.3×15.9×17.0mm,可集成于緊湊型設(shè)備(如便攜式質(zhì)譜儀),節(jié)省空間的同時(shí)降低功耗(最大 2W)。
熱補(bǔ)償功能:
通過(guò)內(nèi)置溫度傳感器和算法補(bǔ)償,在 - 20℃至 80℃范圍內(nèi)維持流量精度 ±1.5% FS,適用于環(huán)境溫度波動(dòng)大的場(chǎng)景(如戶外檢測(cè)設(shè)備)。
高壽命與可靠性:
1 億次開(kāi)關(guān)循環(huán)壽命和低泄漏率(外部泄漏<0.016ml/min@150psi),滿足工業(yè)設(shè)備的長(zhǎng)周期運(yùn)行需求(如半導(dǎo)體產(chǎn)線 24/7 連續(xù)生產(chǎn))。
選型與應(yīng)用建議
介質(zhì)兼容性:
閥體材質(zhì)為 360 黃銅,密封件為 FKM,適用于大多數(shù)非腐蝕性氣體和液體(如空氣、水、礦物油)。若涉及強(qiáng)腐蝕性介質(zhì)(如氫氟酸),需選擇 FFKM 密封版本(如型號(hào) 910-000043-091)。
控制接口:
支持 0-20mA 電流或 PWM 信號(hào)輸入,建議搭配派克閉環(huán)控制器(如 SCMA 系列)實(shí)現(xiàn) ±0.5% FS 的線性度,避免開(kāi)環(huán)控制的溫漂誤差。
行業(yè)合規(guī)性:
醫(yī)療應(yīng)用需確認(rèn)是否符合 FDA Class I/II 標(biāo)準(zhǔn)(如藥物輸送系統(tǒng)需通過(guò)生物相容性測(cè)試),半導(dǎo)體場(chǎng)景需滿足 SEMI F20 對(duì)顆粒釋放的要求(內(nèi)表面粗糙度 Ra≤0.25μm)。
通過(guò)以上場(chǎng)景解析可見(jiàn),派克910-000046-038不僅是精密流體控制的 “核心器官”,更是連接設(shè)備性能與應(yīng)用需求的橋梁,其技術(shù)價(jià)值已滲透到從實(shí)驗(yàn)室研究到工業(yè)生產(chǎn)的全鏈條中。
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