X光測厚儀的校準工作需遵循標準化流程，主要包含以下關鍵步驟和注意事項：

一、校準前準備

?外觀檢查?

確認設備外殼完好、連接線牢固，顯示屏及按鍵功能正常。

?環(huán)境條件?

校準室濕度需≤75%RH，溫度穩(wěn)定，避免外界干擾。

?標準器具?

使用1級或2級厚度標準塊（片），材料需與實際測量樣品一致。

二、校準步驟

?零點校準?

確保無材料時儀器讀數(shù)為零，為后續(xù)測量提供基準。

?標準片校準?

選擇已知厚度的標準片，調(diào)用對應測量程序。

單次測量時間≥30秒，校準后需驗證準確性。

?重復性測試?

對同一標準片重復測量10次，計算實驗標準偏差，相對重復性應≤3%。

?示值穩(wěn)定性測試?

1小時內(nèi)每隔15分鐘測量1組（共5組），大小差值需符合誤差要求。

三、校準后驗證

使用另一組標準片或實際工件驗證，對比測量值與實際值差異，確認儀器可靠性。

四、注意事項

?校準周期?：建議每年至少校準1次，高頻使用需縮短間隔。

?安全防護?：操作時需確保X射線防護措施到位。

?數(shù)據(jù)處理?：采用濾波算法提升信噪比，必要時結合SEM等其他方法交叉驗證