3C閥門類別 | 工業(yè) | 流動方向 | 單向 |
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應用領域 | 能源,電子/電池,航空航天,電氣,綜合 |
瑞士VAT真空蝶閥61.3 - 蝶形控制閥
在所有條件下均能實現出色的壓力控制
61.3 高真空蝶形控制閥可提供出色的壓力控制性能。憑借其快速且精準的作用動作控制器(0.1 秒),61.3 蝶形控制閥成為 CVD 和 ALD 工藝中精細控制的理想解決方案。閥板可充當節(jié)流元件,改變閥門開度的流導特性。61.3 蝶形控制閥的集成壓力控制器可計算所需的閥板位置,以盡快實現設定壓力。
該系列產品專為氣流中有粒子的惡劣下游工藝設計。即使粒子載荷高并且存在因設計而沉積的碎屑,61.3 蝶形控制閥仍能夠保持正常運行。
61.3 系列已經安裝在數千個各種工藝條件下的要求苛刻的應用中,證明了其可靠性。憑借堅固的設計、直接安裝選項,以及簡單且輕松的維護,61.3 系列在各個方面都令人信服。
閥體材料、表面處理、彈性體、法蘭連接、特殊尺寸以及特殊控制算法(自適應、固定 PI 下游/軟抽)方面的各種設計選項可簡化在不同真空應用中的集成。
61.3 高真空蝶形控制閥采用鋁或不銹鋼制成,標準法蘭連接器為 ISO-KF 和 ISO-F,可以集成客戶指定法蘭和特殊功能,如集成式絕緣加熱器??筛鶕筇峁└鞣N全氟橡膠/氟橡膠彈性體(氟橡膠為標準選項)。
61.3 高真空蝶形控制閥的主要特點
特點:
壓力控制
運行非???/span>
板載軟件,用于本地運行
惡劣工藝條件下可實現可靠運行
優(yōu)勢:
工藝可控性更好
正常運行時間長/性能不受限
運行成本低
瑞士VAT真空蝶閥61.3 - 蝶形控制閥