化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>環(huán)境監(jiān)測(cè)儀器>氣體檢測(cè)儀>熱導(dǎo)式氣體分析儀>Transpector® MPH300M 英??礗NFICON 真空應(yīng)用氣體分析儀
Transpector® MPH300M 英福康INFICON 真空應(yīng)用氣體分析儀
參考價(jià) | ¥ 8800 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱(chēng) 山金工業(yè)(深圳)有限公司
- 品牌 INFICON/美國(guó)
- 型號(hào) Transpector® MPH300M
- 產(chǎn)地 日本大阪
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/8/6 23:14:01
- 訪問(wèn)次數(shù) 19
真空應(yīng)用氣體分析儀Transpector® MPH300MINFICON英???/a>100 AMU SPS全新
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 食品/農(nóng)產(chǎn)品,建材/家具,電子/電池,電氣,綜合 |
---|---|---|---|
質(zhì)量范圍 | 1-512 amu | 桿材料 | 鉬 |
最大工作壓力 (EM) 最大工作壓力 (EM) | 1 E-5 mbar | 軸離子源 | 3E-4 A/mbar |
橫束離子源 | 7E-5 A/mbar | 交叉光束氣密離子源 | 7E-5 A/mbar |
帶磁鐵的橫束離子源 | 7E-4 A/mbar | 帶磁鐵的交叉光束氣密離子源 | 7E-4 A/mbar |
網(wǎng)格離子源 | 2E-4 A/mbar | 分辨率(可調(diào)) | 0.3 - 7 amu |
最小可檢測(cè)部分壓力 | 1 E-15 mbar | 帶電子倍增器的分壓比 | < 0.5 ppb |
最高工作溫度 工作溫度(傳感器和電子元件) | 150 °C | 測(cè)量速度 | 0.125 ms - 60 s/amu |
英福康INFICON 真空應(yīng)用氣體分析儀
英??礗NFICON 真空應(yīng)用氣體分析儀
質(zhì)譜儀Transpector® MPH
的性能提高良率并使正常運(yùn)行時(shí)間
持續(xù)上升的硅晶圓價(jià)格以及對(duì)成品的需求意味著廢棄晶圓需要付出 的代價(jià)。因此,在半導(dǎo)體制造中心了解過(guò)程并監(jiān)測(cè)缺陷也變得更加重要。Transpector MPH 氣體分析系統(tǒng)專(zhuān)門(mén)用于讓您的系統(tǒng)在所有氣體分析應(yīng)用中都實(shí)現(xiàn)業(yè)內(nèi) 的性能,有助于最大限度地提高芯片產(chǎn)量,降低工具停工時(shí)間。Transpector MPH 兼具總擁有成本低和平均故障間隔時(shí)間長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn),在幫助您贏利方面的作用優(yōu)于市面上的任何其他殘余氣體分析儀 (RGA)。
INFICON 利用在氣體分析過(guò)程控制設(shè)備領(lǐng)域的專(zhuān)長(zhǎng)制造的 RGA 具有行業(yè) 的數(shù)據(jù)采集速度,可檢分壓強(qiáng)和信噪比 所有這些特性都不會(huì)犧牲 INFICON Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。
功能
最大模擬掃描和選定峰值的數(shù)據(jù)速率為每點(diǎn) 1.8 ms
TCP/IP 以太網(wǎng)連接
雙絲極
可現(xiàn)場(chǎng)更換電子倍增器
組合陽(yáng)極、陰極和反射極絲極套件
較短的傳感器可降低安裝占地面積
九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)量程
<2E-15 Torr 的MDPP(100 amu)
信噪比更高
可調(diào)換傳感器和電子元件
傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配、測(cè)試并進(jìn)行雙層包裝
符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
技術(shù)規(guī)格
每小時(shí)100英里
MPH100F
MPH200M
MPH200F
MPH300M
MPH300F
質(zhì)量范圍 100阿姆
最小可檢測(cè)分壓 2E-15 托
靈敏度 (FC) 6E-4 A/托
靈敏度 (EM) 500 安培/托
最大工作壓力 5E-4 托
配件
961-021-G1 電源套件 80 - 250 VAC / 4 英尺(1.2 米)美國(guó)插頭
961-021-G2 電源套件 80 - 250 VAC / 4 英尺(1.2 米)美式插頭,帶 15 英尺(4.5 米)延長(zhǎng)線(xiàn)
961-021-G3 電源套件 80 - 250 VAC / 4 英尺(1.2 米)美式插頭,帶 30 英尺(9 米)延長(zhǎng)線(xiàn)
961-021-G4 電源套件 80 - 250 VAC / 4 英尺(1.2 米)230V 插頭
961-021-G5 電源套件 80 - 250 VAC / 4 英尺(1.2 米)230V 插頭,帶 15 英尺(4.5 米)延長(zhǎng)線(xiàn)
961-021-G6 電源套件 80 - 250 VAC / 4 英尺(1.2 米)230V 插頭,帶 30 英尺(9 米)延長(zhǎng)線(xiàn)
600-1190-P8 7米以太網(wǎng)電纜
600-1190-P15 以太網(wǎng)15米電纜
600-1428-P1 電源延長(zhǎng)線(xiàn) - 15 英尺(4.5 米)
600-1429-P1 電源延長(zhǎng)線(xiàn) - 30 英尺(9 米)
961-417-G1 帶按鈕 Wi-Fi 的 4 端口以太網(wǎng)路由器
961-418-G1 8端口以太網(wǎng)交換機(jī)
961-702-G1 皮拉尼聯(lián)鎖套件
914-024-G1 角閥套件,手動(dòng)(包括加熱器)
914-026-G1 MPH 角閥套件,電動(dòng)氣動(dòng) 24 V(DC)(包括加熱器)
961-029-G1 MPH 加熱器套件 120 VAC
961-029-G2 MPH 加熱器套件 230 VAC
備件
耗材
961-416-P1 備用 MPH 加熱套
914-407-P1 備用閥門(mén)加熱套(如果獨(dú)立使用則需要加熱器電源線(xiàn))
600-1117-P1 備用加熱器電源線(xiàn) 120 VAC
600-1117-P2 備用加熱器電源線(xiàn) 230 VAC
914-410-P1 備用角閥,手動(dòng)
914-220-G1 氣動(dòng)備用角閥
961-206-G2 MPH 擴(kuò)展套件
961-205-G2 MPH HPR 擴(kuò)展套件
961-022-G1 備用 O 形圈和螺母套件
074-5007-G1 氣體分析產(chǎn)品手冊(cè)CD
備件
MPH100F
每小時(shí)100英里
MPH200F
MPH200M
MPH300F
MPH300M
961-H1FAS MPH 傳感器,100 AMU FC(MPH100F),帶 Y2O3/Ir 燈絲
961-H1FBS MPH 傳感器,100 AMU FC(MPH100F),帶鎢絲
MP-H10S MPH 電子盒,100 AMU FC 或 EM/FC(MPH100F、MPH100M),帶以太網(wǎng)
下載
選擇語(yǔ)言
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我司代理及優(yōu)勢(shì)品牌一覽明細(xì):
代理品牌:CCS晰寫(xiě)速 SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時(shí)計(jì)、NPM日脈
NS日本科學(xué)、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機(jī)
SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫(xiě)真化學(xué)、NIPPON GEAR日本齒輪
NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 東麗 watson沃森 RIYYO理陽(yáng)
Düsen-德國(guó) Schlick AMETEK-LAND蘭德 Advantec 東洋 Eppendorf艾本德 OPTOSKY奧譜天成
APEX精銳 ?Bettersizer丹東百特 Teledyne FLIR YOKOGAWA橫河 METROL美德龍 shimadzu島津 SIBATA柴田科學(xué) NICHIRYO立洋 東麗TORAY BANNER邦納 Mitutoyo三豐 Sanyo Trading三洋 NITTA 霓達(dá) 牧田makita METTLERTOLEDO梅特勒 本特利Bently AIDA 會(huì)田 KYOWA共和 FUJIKIN 富士金 富士電機(jī)Fuji 德國(guó)DIAS HIOKI日置 美國(guó)checkline 美國(guó)Sutter VACUUBRAND德國(guó) INFICON英富康 東方馬達(dá)ORIENTAL MOTOR NIDEC尼得科 美國(guó)advancedenergy SATOVAC佐藤 SICK 西克
SOKYO松野
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