英?？礗NFICON  半導(dǎo)體殘余氣體分析儀

英?？礗NFICON  半導(dǎo)體殘余氣體分析儀

 Transpector® XPR 3+

質(zhì)譜儀Transpector® XPR 3+

擴(kuò)大的壓力范圍 RGA - 傳感化創(chuàng)新

監(jiān)測(cè)并控制快速過(guò)程變化

新的 Transpector XPR 3+ 殘余氣體分析儀 (RGA) 提供 的測(cè)量速度，以監(jiān)測(cè)并控制現(xiàn)代半導(dǎo)體和顯示屏生產(chǎn)所需的快速過(guò)程變化。Transpector XPR 3+ 非常適合于現(xiàn)場(chǎng)空氣漏點(diǎn)、氣體純度、碳?xì)浠衔锖臀廴颈O(jiān)測(cè)。相比定期上升率測(cè)試，Transpector XPR 3+ 進(jìn)行的實(shí)時(shí)測(cè)量可提供 的產(chǎn)品保護(hù)

通過(guò) 工具使用時(shí)間促進(jìn)盈利能力

Transpector XPR 3+ RGA 是用于濺射壓力范圍應(yīng)用的經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證的四極和雙離子源傳感器。無(wú)需壓力轉(zhuǎn)換設(shè)備，部件使用壽命長(zhǎng)，能快速檢測(cè)并診斷問(wèn)題，從而 工具可用性、產(chǎn)品吞吐量和產(chǎn)量。傳感器可在高真空到 20 mTorr 范圍連續(xù)工作，無(wú)需泵。Transpector XPR 3+ 雙離子源腔室設(shè)計(jì)用于限制涂層，以保持離子源靈敏度，并延長(zhǎng)傳感器平均維護(hù)時(shí)間。

優(yōu)勢(shì)

從高真空到 PVD 流程壓強(qiáng)條件下，能夠高靈敏度地檢測(cè)空氣泄漏和污染，實(shí)時(shí)保護(hù)晶圓和面板

  PM 效率和工具正常使用時(shí)間，具有快速可靠的腔室條件

通過(guò)延長(zhǎng)使用壽命、防污染、雙離子源設(shè)計(jì)最小化總體擁有成本；無(wú)需泵，即可監(jiān)測(cè)高達(dá) 20 mTorr 的壓強(qiáng)。低壓 EM 變體可提供成本敏感的替代選擇

通過(guò)強(qiáng)大數(shù)據(jù)采集與同步實(shí)現(xiàn)無(wú)縫工廠集成和可靠阻斷

通過(guò)定制配方優(yōu)化增強(qiáng) 生產(chǎn)能力

通過(guò)即時(shí)現(xiàn)場(chǎng)專家響應(yīng)保護(hù)關(guān)鍵過(guò)程需求

典型應(yīng)用

PVD 和濺射過(guò)程模塊

預(yù)清洗模塊

非群集 PVD 工具

夾鉗式除氣模塊

技術(shù)規(guī)格

質(zhì)量位置穩(wěn)定性 <0.1 amu over 24 hours 

  靈敏度（FC 模式） ≥4E-7 amps/Torr (3E-7 amps/mbar) 

  靈敏度（標(biāo)稱） ≥8E-3 amps/Torr (3E-3 amps/mbar) 

  最小可檢測(cè)分壓（FC 模式） ≤1E-9 Torr (1.3E-9 mbar) 

  最小可檢測(cè)分壓（EM 模式） ≤6E-12 Torr (8E-12 mbar) 

  最大工作壓力（FC 或 EM 模式） 20 mTorr (2.6E-2 mbar) 

  最大工作壓力（線性操作） 10 mTorr (1.3E-2 mbar) 

下載

選擇語(yǔ)言

                             所有語(yǔ)言                                                                                                                                    中文                                                                                                                                                                    英文                                                                                      

手冊(cè)

Transpector XPR 3+ Brochurepdf•1,5 MB•英文•手冊(cè)

手冊(cè)

3D Step Files

該產(chǎn)品被用于以下市場(chǎng)

分析儀器

...

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電池

從電極生產(chǎn)到生產(chǎn)線終端EOL終端的測(cè)試

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顯示器

INFICON匯聚 科技，實(shí)現(xiàn)*高質(zhì)量的顯示器產(chǎn)品

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能源

傳統(tǒng)的石油和天然氣生產(chǎn)在過(guò)去幾十年中出現(xiàn)了需求的增長(zhǎng)，并被發(fā)展中國(guó)家的人口增長(zhǎng)、城市化和中產(chǎn)階級(jí)的消費(fèi)所推動(dòng)。

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工業(yè)制造

其中，真空技術(shù)大多用于保證清潔的環(huán)境，并且在某些過(guò)程中需要維持真空以確保過(guò)程順利實(shí)施。

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移動(dòng)和汽車

在一個(gè)不斷發(fā)展的行業(yè)中進(jìn)行可靠的泄漏測(cè)試 。 汽車行業(yè)的變化使泄漏檢測(cè)變得更加重要。

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醫(yī)藥和醫(yī)療

提高生產(chǎn)力，幫助滿足制藥業(yè)的合規(guī)標(biāo)準(zhǔn)和質(zhì)量要求

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研究與學(xué)術(shù)

通過(guò)基礎(chǔ)研究揭開宇宙最深層的神秘面紗。今天的創(chuàng)新為您明天的技術(shù)研發(fā)提供動(dòng)力

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半導(dǎo)體IDM和晶圓代工廠

為支持廣泛的應(yīng)用而定制的傳感器，確保產(chǎn)品安全、提高產(chǎn)量和*高生產(chǎn)力。

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真空鍍膜

真空鍍膜市場(chǎng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出了光學(xué)領(lǐng)域，正在迅速擴(kuò)展到十年前幾乎無(wú)法想象的領(lǐng)域、行業(yè)和薄膜層。

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了解我們使用 Transpector 進(jìn)行的研究項(xiàng)目

應(yīng)用

31 Jul 2024

利用先進(jìn)傳感技術(shù)增強(qiáng)自主機(jī)器人技術(shù)

集成先進(jìn)傳感系統(tǒng)

公司

26 Apr 2024

通過(guò)原位校準(zhǔn)加強(qiáng)水下質(zhì)譜儀在

                                                                                             法語(yǔ)

我司代理及優(yōu)勢(shì)品牌一覽明細(xì)：

代理品牌：CCS晰寫速  SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時(shí)計(jì)、NPM日脈

NS日本科學(xué)、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機(jī)

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學(xué)、NIPPON GEAR日本齒輪

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 東麗 watson沃森  RIYYO理陽(yáng)

Düsen-德國(guó) Schlick AMETEK-LAND蘭德 Advantec 東洋 Eppendorf艾本德 OPTOSKY奧譜天成

APEX精銳 ?Bettersizer丹東百特 Teledyne FLIR YOKOGAWA橫河 METROL美德龍 shimadzu島津 SIBATA柴田科學(xué) NICHIRYO立洋 東麗TORAY BANNER邦納 Mitutoyo三豐 Sanyo Trading三洋 NITTA 霓達(dá) 牧田makita METTLERTOLEDO梅特勒 本特利Bently AIDA 會(huì)田 KYOWA共和 FUJIKIN 富士金 富士電機(jī)Fuji 德國(guó)DIAS HIOKI日置 美國(guó)checkline 美國(guó)Sutter VACUUBRAND德國(guó) INFICON英富康 東方馬達(dá)ORIENTAL MOTOR NIDEC尼得科 美國(guó)advancedenergy SATOVAC佐藤 SICK 西克

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