化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>其它實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>其它實(shí)驗(yàn)室設(shè)備>進(jìn)口 INFICON英???UL6000 Fab PLUS 真空檢漏儀
進(jìn)口 INFICON英福康 UL6000 Fab PLUS 真空檢漏儀
參考價(jià) | ¥ 6200 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 山金工業(yè)(深圳)有限公司
- 品牌 INFICON/美國(guó)
- 型號(hào) 進(jìn)口
- 產(chǎn)地 日本大阪
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/8/7 10:41:37
- 訪問次數(shù) 10
聯(lián)系方式:羅玲玲13728810088 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
脫泡攪拌機(jī) 氧氣分析儀 離心濃縮儀 微量離心機(jī) 紫外線檢測(cè)儀 天平電子秤 電鍍螺旋應(yīng)力計(jì) 空氣采樣泵 靜電消除器 高溫記錄儀
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,建材/家具,電子/電池,電氣,綜合 |
---|---|---|---|
質(zhì)量范圍 | 1-512 amu | 桿材料 | 鉬 |
最大工作壓力 (EM) 最大工作壓力 (EM) | 1 E-5 mbar | 軸離子源 | 3E-4 A/mbar |
橫束離子源 | 7E-5 A/mbar | 交叉光束氣密離子源 | 7E-5 A/mbar |
帶磁鐵的橫束離子源 | 7E-4 A/mbar | 帶磁鐵的交叉光束氣密離子源 | 7E-4 A/mbar |
網(wǎng)格離子源 | 2E-4 A/mbar | 分辨率(可調(diào)) | 0.3 - 7 amu |
最小可檢測(cè)部分壓力 | 1 E-15 mbar | 帶電子倍增器的分壓比 | < 0.5 ppb |
最高工作溫度 工作溫度(傳感器和電子元件) | 150 °C | 測(cè)量速度 | 0.125 ms - 60 s/amu |
INFICON英???UL6000 Fab PLUS 真空檢漏儀
INFICON英???UL6000 Fab PLUS 真空檢漏儀?
UL6000 Fab 系列
氦氣 泄漏檢測(cè)器UL6000 Fab 系列
UL6000 Fab / UL6000 Fab PLUS 檢漏儀
ULTRATEST™ 傳感器技術(shù)
為泄漏測(cè)試的速度和精度設(shè)定標(biāo)準(zhǔn)
用于半導(dǎo)體應(yīng)用的氦氣檢漏儀系列
INFICON UL6000 氦氣檢漏儀旨在滿足最為苛刻的泄漏檢測(cè)應(yīng)用的要求。UL6000采用INFICON專有軟件算法I·CAL和HYDRO·S,采用經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的真空設(shè)計(jì),提供了測(cè)試靈活性、高靈敏度和快速準(zhǔn)確的結(jié)果,使任何泄漏檢測(cè)應(yīng)用程序快速而簡(jiǎn)單。
UL6000 在所有測(cè)試范圍內(nèi)均可實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng),從達(dá)到測(cè)試條件到獲得最終結(jié)果的整個(gè)周期時(shí)間極其短暫。此專門設(shè)計(jì)的真空架構(gòu)可以提供持續(xù)高速的氦氣泵速以及極其快的響應(yīng),能夠滿足您的需求。
高效泄漏測(cè)試
泄漏檢測(cè)既耗時(shí)又復(fù)雜。通過測(cè)量上升率(RoR),半導(dǎo)體和真空設(shè)備在運(yùn)行過程中受到持續(xù)監(jiān)控。在通過該整體泄漏測(cè)試顯示泄漏后,使用氦氣噴射(噴氦)方法定位泄漏位置,以便進(jìn)行所需的維修。隨后是另一次使用壓力增加或所謂的真空衰減測(cè)量的泄漏測(cè)試——這是一個(gè)復(fù)雜的過程,需要重復(fù)進(jìn)行,直到檢測(cè)到所有泄漏。此外,為了盡可能精確,對(duì)于大的設(shè)備體積,該程序的測(cè)量時(shí)間通常特別長(zhǎng)。得益于我們的智能上升率功能I·RISE,新的UL6000 Fab PLUS現(xiàn)在可以單獨(dú)進(jìn)行壓力上升測(cè)量,并將其與氦氣噴射(噴氦)方法相結(jié)合。我們的 系統(tǒng)使測(cè)量時(shí)間大幅下降,從而有助于最大限度地減少泄漏測(cè)試和晶圓廠設(shè)備維護(hù)的一般時(shí)間。體驗(yàn)更快、更超前。
使用 SMART-Spray 優(yōu)化泄漏測(cè)試 I·BOOST 和 SPRAY-Check
SMART-Spray 大型氦氣瓶和笨重的軟管,從而增強(qiáng)了檢漏功能。它簡(jiǎn)化了流程,減少了手動(dòng)氦氣流量調(diào)整,最大限度地減少了錯(cuò)誤。該工具使泄漏檢測(cè)更快、更簡(jiǎn)單、更可靠,同時(shí)保持較低的氦氣消耗量和背景水平。
I-BOOST 是高效、精確檢漏的理想選擇,可節(jié)省高達(dá) 50% 的檢漏時(shí)間。它的響應(yīng)時(shí)間更短,可對(duì)各種腔體進(jìn)行快速、精確的測(cè)量,從而提高效率和準(zhǔn)確性。此外,SPRAY-Check(噴淋檢漏)可確保檢漏儀的功能性和就緒狀態(tài)。它適用于 10-? 至 10-? mbar?l/s 范圍,可在測(cè)試過程中提供可靠的檢查。
免費(fèi) SMART Spray 演示
使用 SMART-Spray 改變您的泄漏測(cè)試流程。
免費(fèi) SMART Spray 演示
優(yōu)勢(shì)
HYDRO-S (HYDROgen-Suppression) 能夠快速達(dá)到測(cè)試條件。
UL6000 Fab PLUS - 其他優(yōu)勢(shì)擁有I-RISE,我們的智能上升率: 提供設(shè)備內(nèi)壓力上升測(cè)試,并結(jié)合氦氣噴射(噴氦)方法
在10秒內(nèi)完成上升率的測(cè)量
有助于最大限度地減少泄漏測(cè)試和工廠設(shè)備維護(hù)的一般時(shí)間
更快,更精確
I-CAL(智能 - 泄漏率計(jì)算算法) 確保對(duì)所有測(cè)試范圍內(nèi)的泄漏做出快速響應(yīng)。
特殊的多進(jìn)口渦輪分子泵可以在所有壓力下提供優(yōu)良氦氣泵速和高氦氣壓縮率,從而提供 靈敏度、快速響應(yīng)和清洗。
渦輪分子泵可以對(duì)任何測(cè)試對(duì)象(包括最大容量和最大腔室)提供極其快速的響應(yīng)。
經(jīng)過驗(yàn)證的 INFICON 扇形磁場(chǎng)質(zhì)譜儀采用 、免維護(hù)設(shè)計(jì),歷經(jīng)數(shù)年仍可提供準(zhǔn)確且可重復(fù)的結(jié)果。
自我保護(hù)功能可保護(hù) UL6000 免受氦氣和粒子污染,甚至還設(shè)有自動(dòng)沖凈周期,確保 UL6000 隨時(shí)可用。
旋轉(zhuǎn)式顯示器/控制接口和可選遠(yuǎn)程手動(dòng)控制器提供操作靈活性。
可通過軟件啟用對(duì)裝置和系統(tǒng)軟件的訪問控制,從而阻止未經(jīng)授權(quán)地使用或意外修改測(cè)試設(shè)定。
通過電子郵件升級(jí)軟件,確保您的 UL6000 始終處于優(yōu)良工作狀態(tài)。
新型工作站設(shè)計(jì),帶有優(yōu)良高度的工作臺(tái)面,并且配備有防靜電臺(tái)墊和工具箱,便于測(cè)試。
典型應(yīng)用
半導(dǎo)體和平板顯示器工具上的測(cè)試元件、部件和大型腔室泄漏測(cè)試
半導(dǎo)體和平板顯示工具的泄漏測(cè)試
航空元件、部件和系統(tǒng)的泄漏測(cè)試
儲(chǔ)存容器/儲(chǔ)罐的泄漏測(cè)試
規(guī)格
UL 6000 Fab
UL 6000 Fab PLUS
氦氣 檢測(cè)漏率 (真空模式) 毫巴?升/秒<5? 10-12
氦氣 檢測(cè)漏率 (吸槍模式) 毫巴?升/秒<5? 10-8
最大進(jìn)氣壓力 (MASSIVE 模式) 大氣壓(~1013 毫巴)
粗抽泵類型 roots 羅茨
最大抽速度 立方米/小時(shí) >36
抽速 @ 進(jìn)氣口 (100-1000 mbar) 立方米/小時(shí) 23
抽速 @ 進(jìn)氣口 (10-100 mbar 和 1-10 mbar) 立方米/小時(shí) 二十六
最大氦氣抽速 (ULTRA 模式) 升/秒 >36
最大氦氣抽速 DN63 減少到DN40 升/秒 ~ 30
抽空時(shí)間(到 1 mbar 在腔體50 L下) 秒 52
50 L的響應(yīng)時(shí)間 秒 1.4
我司代理及優(yōu)勢(shì)品牌一覽明細(xì):
代理品牌:CCS晰寫速 SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時(shí)計(jì)、NPM日脈
NS日本科學(xué)、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機(jī)
SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學(xué)、NIPPON GEAR日本齒輪
NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 東麗 watson沃森 RIYYO理陽(yáng)
Düsen-德國(guó) Schlick AMETEK-LAND蘭德 Advantec 東洋 Eppendorf艾本德 OPTOSKY奧譜天成
APEX精銳 ?Bettersizer丹東百特 Teledyne FLIR YOKOGAWA橫河 METROL美德龍 shimadzu島津 SIBATA柴田科學(xué) NICHIRYO立洋 東麗TORAY BANNER邦納 Mitutoyo三豐 Sanyo Trading三洋 NITTA 霓達(dá) 牧田makita METTLERTOLEDO梅特勒 本特利Bently AIDA 會(huì)田 KYOWA共和 FUJIKIN 富士金 富士電機(jī)Fuji 德國(guó)DIAS HIOKI日置 美國(guó)checkline 美國(guó)Sutter VACUUBRAND德國(guó) INFICON英富康 東方馬達(dá)ORIENTAL MOTOR NIDEC尼得科 美國(guó)advancedenergy SATOVAC佐藤 SICK 西克
SOKYO松野