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HTE-510-EHC 平行光曝光設(shè)備

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桂寧(上海)實(shí)驗(yàn)器材有限公司(Labcan Scientific)專業(yè)經(jīng)營進(jìn)口實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備,耗材,是實(shí)驗(yàn)器材集成供應(yīng)商,擁有廣泛而穩(wěn)固的客戶群體和分銷網(wǎng)絡(luò)。產(chǎn)品資源豐富,種類齊全。產(chǎn)品涵蓋實(shí)驗(yàn)室通用儀器、化學(xué)分析、生命科學(xué)研究等。如電子天平、均質(zhì)器、超聲波發(fā)生器、溫濕度記錄儀等,涉及從化工、制藥、日化、食品、涂料、建材、電子、汽車到農(nóng)業(yè)、商檢、質(zhì)檢、衛(wèi)生防疫以及高校、研究單位等多個(gè)行業(yè)實(shí)驗(yàn)室。我們秉持“專業(yè)服務(wù)、合作雙贏"的經(jīng)營理念,我們深信唯有提供品質(zhì)產(chǎn)品及專業(yè)、快速的服務(wù),才能建立企業(yè)信譽(yù),為科技創(chuàng)新貢獻(xiàn)力量!

進(jìn)口實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備

1.設(shè)備名稱:平行光曝光設(shè)備HTE-510-EHC(1Kw)

 

2.裝置簡介:本裝置采用點(diǎn)光源超高壓汞燈作為光源。準(zhǔn)直鏡系統(tǒng)的平行光曝光裝置。主要結(jié)構(gòu)由“光源部分”、“吸附式曝光臺(tái)部分”等組成,曝光方式有真空貼合式(硬接觸)和墊片接近式(非接觸式)。為了管理曝光量,配備了“積分光量計(jì)”,可以以適當(dāng)?shù)钠毓饬窟M(jìn)行曝光。是帶支架的緊湊設(shè)計(jì)的裝置。


3.設(shè)備規(guī)格
①光源(燈):超高壓汞燈1Kw(風(fēng)冷式)
②曝光面積:150mm x 150mm(最大)
③光學(xué)部分組成:
1)橢圓聚光鏡
2)平面鏡(1)、(2)
3)積分器透鏡單元
4)準(zhǔn)直鏡
5)濾光片插入機(jī)構(gòu)(手動(dòng)切換方式)
□請(qǐng)另外準(zhǔn)備90mm、2mm厚的濾光片。

4.曝光快門:基于氣動(dòng)快門的開關(guān)方式

5.曝光量管理:基于積分光度計(jì)(管理波長365nm),具有20通道存儲(chǔ)功能

6.面罩:玻璃面罩152 x 152 x t3.0mm 
127 x 127 x t2.3mm
127毫米使用掩模適配器

7.工件:100mm x 100mm厚度約0.1~1.0 mm 

8.曝光臺(tái):吸附式臺(tái)
吸附工件后,將玻璃掩模放置在曝光臺(tái)上。

9.光學(xué)性能:波長約300~470nm 9.光學(xué)性能:波長約300~470nm


(主波長365nm、405nm、436nm)

平行度準(zhǔn)直半角≤1.5°
偏角≤1.0°
:紫外線照度約40mW/cm^2初始值(@365nm)
*使用ORC制造的UV-M03測量儀器
:照度分布90%以上

10.實(shí)用程序:1)電源三相200V(50/60Hz)
斷路器開關(guān)30A
10.5 KVA
2)壓縮空氣約0.5 MPa
3)所需排氣量約8m^3/min

11.圖紙:圖號(hào)310305外觀圖*帶框架 11.圖紙:圖號(hào)310305外觀圖*帶框架
圖號(hào)310306代理SIM機(jī)構(gòu)說明圖

12.飾面:外部烤漆飾面 12.飾面:外部烤漆飾面
內(nèi)飾烤漆、耐熱處理飾面

 



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