HTE-510-EHC 平行光曝光設(shè)備
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 桂寧(上海)實(shí)驗(yàn)器材有限公司
- 品牌
- 型號(hào) HTE-510-EHC
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/8/14 19:24:27
- 訪問次數(shù) 22
產(chǎn)品標(biāo)簽
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1.設(shè)備名稱:平行光曝光設(shè)備HTE-510-EHC(1Kw)
2.裝置簡介:本裝置采用點(diǎn)光源超高壓汞燈作為光源。準(zhǔn)直鏡系統(tǒng)的平行光曝光裝置。主要結(jié)構(gòu)由“光源部分”、“吸附式曝光臺(tái)部分”等組成,曝光方式有真空貼合式(硬接觸)和墊片接近式(非接觸式)。為了管理曝光量,配備了“積分光量計(jì)”,可以以適當(dāng)?shù)钠毓饬窟M(jìn)行曝光。是帶支架的緊湊設(shè)計(jì)的裝置。
3.設(shè)備規(guī)格
①光源(燈):超高壓汞燈1Kw(風(fēng)冷式)
②曝光面積:150mm x 150mm(最大)
③光學(xué)部分組成:
1)橢圓聚光鏡
2)平面鏡(1)、(2)
3)積分器透鏡單元
4)準(zhǔn)直鏡
5)濾光片插入機(jī)構(gòu)(手動(dòng)切換方式)
□請(qǐng)另外準(zhǔn)備90mm、2mm厚的濾光片。
4.曝光快門:基于氣動(dòng)快門的開關(guān)方式
5.曝光量管理:基于積分光度計(jì)(管理波長365nm),具有20通道存儲(chǔ)功能
6.面罩:玻璃面罩152 x 152 x t3.0mm
127 x 127 x t2.3mm
127毫米使用掩模適配器
7.工件:100mm x 100mm厚度約0.1~1.0 mm
8.曝光臺(tái):吸附式臺(tái)
吸附工件后,將玻璃掩模放置在曝光臺(tái)上。
9.光學(xué)性能:波長約300~470nm 9.光學(xué)性能:波長約300~470nm
(主波長365nm、405nm、436nm)
平行度準(zhǔn)直半角≤1.5°
偏角≤1.0°
:紫外線照度約40mW/cm^2初始值(@365nm)
*使用ORC制造的UV-M03測量儀器
:照度分布90%以上
10.實(shí)用程序:1)電源三相200V(50/60Hz)
斷路器開關(guān)30A
10.5 KVA
2)壓縮空氣約0.5 MPa
3)所需排氣量約8m^3/min
11.圖紙:圖號(hào)310305外觀圖*帶框架 11.圖紙:圖號(hào)310305外觀圖*帶框架
圖號(hào)310306代理SIM機(jī)構(gòu)說明圖
12.飾面:外部烤漆飾面 12.飾面:外部烤漆飾面
內(nèi)飾烤漆、耐熱處理飾面