Sensofar S neox“四維協(xié)同”重塑微觀世界
參考價(jià) | ¥ 800000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 北京儀光科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 西班牙
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/8/15 11:35:50
- 訪問(wèn)次數(shù) 12
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西班牙Sensofar共聚焦白光干涉儀、澤攸臺(tái)式電鏡&臺(tái)階儀&原位分析、徠卡等光學(xué)顯微鏡、RMC超薄切片機(jī)、Linkam冷熱臺(tái)
產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 石油,能源,電子/電池,鋼鐵/金屬,綜合 |
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一、產(chǎn)品定位:跨尺度表面形貌分析的“全能選手”
作為Sensofar第五代干涉共焦顯微鏡,S neox系列突破傳統(tǒng)單一技術(shù)局限,通過(guò)共聚焦掃描、白光干涉、相位差干涉、AI多焦面融合四大模式協(xié)同工作,實(shí)現(xiàn)從粗糙表面(Ra>10μm)到超光滑表面(Ra<0.1nm)的全場(chǎng)景覆蓋。Sensofar S neox“四維協(xié)同”重塑微觀世界其核心價(jià)值在于:
一機(jī)多用:無(wú)需硬件更換,軟件一鍵切換測(cè)量模式,降低設(shè)備采購(gòu)成本;
智能自適應(yīng):根據(jù)樣品特性自動(dòng)優(yōu)化光源波長(zhǎng)、入射角度及算法,減少人工干預(yù);
抗干擾設(shè)計(jì):搭載實(shí)時(shí)環(huán)境補(bǔ)償算法(REC),在普通實(shí)驗(yàn)室振動(dòng)條件下(>100nm)仍可穩(wěn)定輸出數(shù)據(jù)。
二、產(chǎn)品性能:技術(shù)參數(shù)定義
1. 核心參數(shù)表
參數(shù)項(xiàng) | S neox標(biāo)準(zhǔn)型 | S neox Five Axis(五軸型) |
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橫向分辨率 | 0.12μm(共聚焦模式) | 0.10μm(高NA物鏡) |
縱向分辨率 | 0.1nm(白光干涉模式) | 0.05nm(相位差干涉模式) |
最大測(cè)量范圍 | 150mm×150mm(電動(dòng)平臺(tái)) | 300mm×300mm(五軸旋轉(zhuǎn)臺(tái)) |
最大斜率測(cè)量 | 86°(融合共聚焦模式) | 88°(配合五軸旋轉(zhuǎn)臺(tái)) |
數(shù)據(jù)采集速度 | 180幀/秒(500萬(wàn)像素CMOS傳感器) | 250幀/秒(高速相機(jī)選配) |
軟件功能 | SensoSCAN基礎(chǔ)版(含ISO 25178/4287分析) | SensoMAP Pro(支持AI缺陷識(shí)別與數(shù)字孿生) |
2. 技術(shù)突破亮點(diǎn)
Microdisplay共焦技術(shù):掃描頭內(nèi)無(wú)運(yùn)動(dòng)部件,消除機(jī)械振動(dòng)對(duì)精度的干擾,壽命提升至10萬(wàn)小時(shí);
連續(xù)共聚焦掃描:通過(guò)同步面內(nèi)與Z軸掃描,將傳統(tǒng)共聚焦速度提升3倍,15×15mm區(qū)域掃描僅需42秒;
三波長(zhǎng)干涉場(chǎng)重建:?jiǎn)未螔呙柰将@取表面形貌、膜厚分布(0.1nm分辨率)、材料折射率及真色彩光學(xué)特征。
三、用材與工藝:工業(yè)級(jí)可靠性保障
光學(xué)系統(tǒng):采用德國(guó)肖特超低色散玻璃與日本濱松高功率LED光源,光路穩(wěn)定性優(yōu)于λ/20(波長(zhǎng)/20);
機(jī)械結(jié)構(gòu):航空級(jí)鋁合金框架搭配大理石基座,抗振動(dòng)干擾能力提升50%,適應(yīng)潔凈車間、生產(chǎn)線等復(fù)雜環(huán)境;
防護(hù)設(shè)計(jì):IP54防護(hù)等級(jí),關(guān)鍵部件(如物鏡、電動(dòng)平臺(tái))采用密封設(shè)計(jì),通過(guò)ISTA 3A運(yùn)輸測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)。
四、應(yīng)用場(chǎng)景:跨行業(yè)解決方案
1. 半導(dǎo)體制造
檢測(cè)晶圓表面亞表面損傷層厚度,定位精度達(dá)0.5μm;
評(píng)估刻蝕均勻性,支持米級(jí)長(zhǎng)度在線全檢。
2. 新能源電池
非接觸式測(cè)量極片涂層厚度一致性,避免探針劃傷風(fēng)險(xiǎn);
實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)隔膜微孔結(jié)構(gòu),優(yōu)化電解液浸潤(rùn)效率。
3. 生物醫(yī)學(xué)
分析人工關(guān)節(jié)羥基磷灰石涂層的孔隙率與結(jié)晶度,預(yù)測(cè)植入物壽命;
捕捉細(xì)胞培養(yǎng)基底表面形貌對(duì)細(xì)胞生長(zhǎng)的影響(如干細(xì)胞分化導(dǎo)向)。
4. 航空航天
測(cè)量渦輪葉片表面粗糙度(Ra=8.3μm),量化噴砂處理工藝參數(shù);
檢測(cè)復(fù)合材料內(nèi)部缺陷(如分層、孔隙),支持CT數(shù)據(jù)融合分析。
五、包裝與運(yùn)輸:安全交付的“全流程防護(hù)”
定制化包裝:高密度泡沫內(nèi)襯+防震木箱,通過(guò)ISTA 3A運(yùn)輸測(cè)試,確保設(shè)備在長(zhǎng)途運(yùn)輸中免受沖擊;
配件清單:標(biāo)準(zhǔn)物鏡套裝(2.5×-100×)、校準(zhǔn)樣塊、SensoSCAN軟件授權(quán)、操作手冊(cè)與快速指南;
可選配模塊:12英寸自動(dòng)晶圓臺(tái)、高溫原位測(cè)量艙(最高800℃)、五軸旋轉(zhuǎn)臺(tái)。
六、使用說(shuō)明:從開箱到測(cè)量的“三步閉環(huán)”
安裝調(diào)試:由Sensofar認(rèn)證工程師提供現(xiàn)場(chǎng)安裝與光路校準(zhǔn)服務(wù),確保設(shè)備達(dá)到出廠精度標(biāo)準(zhǔn)(縱向精度±0.5nm);
操作培訓(xùn):通過(guò)線上課程與線下實(shí)操結(jié)合,覆蓋軟件參數(shù)設(shè)置、測(cè)量模式選擇、數(shù)據(jù)分析報(bào)告生成等全流程;
日常維護(hù):提供每日清潔、季度校準(zhǔn)、年度保養(yǎng)的標(biāo)準(zhǔn)化流程,延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命。
結(jié)語(yǔ):S neox——微觀世界的“通用語(yǔ)言”
從哈佛大學(xué)量子點(diǎn)薄膜的原子級(jí)堆疊分析,到特斯拉超級(jí)工廠每分鐘30個(gè)電池極片的涂層厚度檢測(cè),Sensofar S neox正以“四維協(xié)同”技術(shù)重新定義表面測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)。其價(jià)值不僅在于數(shù)據(jù)精度,更在于將不可見轉(zhuǎn)化為可量化,將經(jīng)驗(yàn)判斷升維至數(shù)據(jù)決策——這正是工業(yè)4.0時(shí)代對(duì)微觀分析的核心需求。Sensofar S neox“四維協(xié)同”重塑微觀世界