的外殼與排水設(shè)計(jì)便于在桌面式和內(nèi)置式機(jī)型之間切換。模塊化設(shè)計(jì)使用戶能通過(guò)多種不同配件升級(jí)設(shè)備，從而簡(jiǎn)化分配操作及整體處理流程。
SPINx 系列配備液體過(guò)濾捕集器，用于保護(hù)旋涂機(jī)的關(guān)鍵部件。它能將通過(guò)處理腔室或真空卡盤進(jìn)入真空管路的所有液體或抗蝕劑收集到液體容器中。通過(guò)旋涂機(jī)外殼上的開(kāi)口可查看該容器，便于維護(hù)。
蓋子可通過(guò)用戶界面或腳踏板（非常適合手套箱環(huán)境使用）自動(dòng)打開(kāi)和關(guān)閉。此外，還能在工藝配方的最后一步自動(dòng)打開(kāi)蓋子。
新款 SPINx 系列能夠設(shè)定電機(jī)回零位置，便于集成到機(jī)器人控制 / 自動(dòng)化環(huán)境中。
液體過(guò)濾捕集器
自動(dòng)蓋子（高級(jí)版還可通過(guò)腳踏板控制）
可編程電機(jī)回零位置
用于注射器或分配噴嘴的中心注射支架
用于用戶安全的蓋子鎖和真空傳感器
大尺寸（可拆卸）觸摸顯示屏
用于在 USB 驅(qū)動(dòng)器上存儲(chǔ)配方和進(jìn)行軟件更新的 USB 端口
驅(qū)動(dòng)單元規(guī)格：間接式無(wú)刷驅(qū)動(dòng)單元，最高 12,000 轉(zhuǎn) / 分；高加速度與精度，1-30,000 轉(zhuǎn) / 分；順時(shí)針 / 逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)及 puddle 模式；可在桌面式和內(nèi)置式機(jī)型之間切換的設(shè)計(jì)
適用工藝：
涂層
清潔
漂洗 / 干燥
顯影
蝕刻
PDMI 及其他工藝
采購(gòu)中心
化工儀器網(wǎng)