AT211A/AT211B光柵尺

539系列—細(xì)長(zhǎng)型/高速度型

特點(diǎn)

高精度， 高分辨率封裝型光柵尺，是半導(dǎo)體加工系統(tǒng)和CNC 機(jī)床在定位時(shí)進(jìn)行反饋控制的理想工具。

兩種型號(hào)可供選擇：AT211A 多點(diǎn)安裝型，增強(qiáng)了防震性能。 AT211B 可安裝在機(jī)床兩端。AT211B 的尺寸與 AT111 細(xì)長(zhǎng)型相同。

技術(shù)參數(shù)

有效測(cè)量范圍: 100 - 1500mm

精度 20ºC 時(shí):

有效測(cè)量范圍 標(biāo)準(zhǔn)型 高精度型

100 - 500mm （3+3L/1000）μm （2+2L/1000）μm

500 - 1500mm （3+3L/1000）μm —

L 為有效測(cè)量范圍 （mm）

輸出波形: 兩路90° 相移正交信號(hào)

zui大響應(yīng)速度: 5.4 - 120m/min.

分辨率: 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2.5, 5μm

信號(hào)輸出間距: 20μm

塵／水防護(hù)等級(jí): 達(dá)到IP53 防護(hù)標(biāo)準(zhǔn)