MSC系列旋轉涂布機為美國*全自動數(shù)字式旋轉涂布機。

該旋轉涂布機適用于半導體、硅片、晶片、基片、導電玻璃及制版等表面涂覆工藝。

這一系列旋轉涂布機還可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學之用。

MYCRO MSC-650Hz系列旋轉涂布機旋涂儀轉速獲NIST標準認證。

MYCRO MSC-400Bz型旋轉涂布機，為高精度數(shù)碼控制器的勻膠旋涂儀，非常方便設定速度和加速度程序段，旋轉涂布機內共設有20個51步程序段或者手動模式，100~10000RPM的穩(wěn)定轉速，也可特別訂制1~12000RPM的轉速，可重復性達到+/-0.5RPM，分辨率小于0.5RPM。

MSC-400Bz系列旋轉涂布機的數(shù)碼速度控制器采用的是一個高計數(shù)位的光學編碼器輸入至伺服馬達控制器，其設置點精度小于0.006%，獲美國NIST激光測量標準認證，無需校準。

請根據(jù)您實際需要的大小和材質選擇相應的旋轉涂布機/旋涂儀訂購代碼：

NPP材質的6英寸旋轉涂布機系列型號

MSC-400Bz-6N

MSC-400Bz-6N-IND

MSC-400Bz-6N-OND

◆旋轉涂布機為NPP材質臺式

◆8.5英寸 （216 毫米） 直徑 桶狀處理腔

◆旋轉涂布機可以涂敷zui大直徑為6英寸 （150 毫米）或4英寸 X 4英寸 （102 X 102 毫米）的方形基底材料

◆理想的旋轉涂布機

◆銷量的臺式系統(tǒng)旋轉涂布機

NPP材質的8英寸旋轉涂布機系列型號：

MSC-400Bz-8N

MSC-400Bz-8N-IND                                          

MSC-400Bz-8N-OND

◆旋轉涂布機為NPP材質內置式帶遠程控制器

◆12.5英寸 （318 毫米） 直徑 桶狀處理腔

◆旋轉涂布機可以涂敷zui大直徑為8英寸 （200 毫米）或7英寸 X 7英寸 （178 X 178 毫米） 的方形基底材料

◆這系列旋轉涂布機是銷量的wet-bench型系統(tǒng)

MSC系列旋轉涂布機內的高精度數(shù)碼控制器：

可設定存儲20個不同樣片的旋涂程序段；

每個程序段可以設置51步不同的速度狀態(tài)；

旋轉涂布機隨意任意時間范圍的加減速，可重復性達到+/-0.5RPM，分辨率小于0.5RPM；

      這一系列的旋轉涂布機上的液晶顯示屏可以實時讀取任意速度狀態(tài)

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