用于超等薄膜的超等晶體

INFICON石英晶片性能表現(xiàn)較為突出和可靠，是目前市場上的晶片及苛刻應用的上佳選擇；在各種類型的材料、應用和行業(yè)中已有超時數(shù)百萬次工藝生產(chǎn)應用的成功例子。

鍍金，6MHz           P/N:SPC-1157-G10

鍍金，6MHz           P/N:008-010-G10

銀鋁合金，6MHz    P/N:750-1022-G10

鍍金5MHz               P/N:750-225-G2

                               P/N:750-1026-G10

雙面鍍金：              P/N:750-1028-G10

一、INFICON石英晶片 晶振片的優(yōu)點。

1、*是世界上的晶體。

2、使用方便的新型晶體包裝。

3、永遠可靠的貨源。

4、完善的產(chǎn)品線。

二﹑如何選用合適的晶振片？

鍍膜科技日新月異，對于鍍膜工程師來說，如何根據(jù)不同的鍍膜工藝選擇上佳的晶振片確實不易。下面建議供大家參考：

1)鍍低應力膜料時，選擇鍍金晶振片

常見的鍍膜是鍍Al、Au、Ag、Cu，這些膜層幾乎沒有應力，在室溫下鍍膜即可。膜層較軟，易劃傷，但不會裂開或對基底產(chǎn)生負作用。建議使用鍍金晶振片用于上述鍍膜，經(jīng)驗證明，可以在鍍金晶振片鍍60000埃金和50000埃銀的厚度。

2)使用鍍銀或銀鋁合金鍍高應力膜層

Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不銹鋼這些材料容易產(chǎn)生高應力，膜層容易從晶體基片上剝落或裂開，以致出現(xiàn)速率的突然跳躍或一系列速率的突然不規(guī)則正負變動。有時，這些情況可以容忍，但在一些情況下，會對蒸發(fā)源的功率控制有不良作用。

3)使用銀鋁合金晶振片鍍介質(zhì)光學膜

MgF₂、SiO2、Al2、TiO2 膜料由于良好的光學透明區(qū)域或折射率特性，被廣泛用于光學鍍膜，但這些膜料也是難監(jiān)控的，只有基底溫度大于200度時，這些膜層才會與基底有非常良好的 結合力，所以當這些膜料鍍在水冷的基底晶振片上，在膜層凝結過程會產(chǎn)生巨大的應力，容易使晶振片在1000埃以內(nèi)就回失效。

這時候，選用合金晶振片將是的選擇，將大大減少調(diào)頻機會。實驗室顯示，使用合金晶振片監(jiān)視氟化鎂，有效壽命比鍍金的長百分之一百。如果把冷卻水的溫度從20度提高到50度，晶振片的壽命更可以再延長一倍。

三﹑晶振片的安裝及注意事項與技巧

隨著鍍膜規(guī)格指標的需求日益嚴格，單靠光控已經(jīng)難以達到要求，晶振控制成為鍍膜必要的輔助或控制方法﹐如何正確有效地使用晶振片成為保證鍍膜質(zhì)量的核心。所以為了使晶振片壽命長，下面一些方法和技巧供您參考：

1.總是用攝子來挾住晶振片的邊緣，不要碰晶振片中點。

因為晶振片振動的活躍中點，任何灰層，油污都會降低晶振片的振動能力。新的晶振片使用之前應在酒精(分析純即可)中浸泡1分鐘左右，之后用塑料鑷子夾取并 用無塵紙或潔凈的綢布將酒精擦拭干凈，同時用蘸有酒精的無塵紙或綢布將晶振座擦拭干凈，組裝晶振片之前用吹氣球將晶振片、晶振座及探頭的接觸彈簧上可能殘 留的灰塵、紙屑等吹掉﹐晶振片裝好后再一次用吹氣球吹晶振片的表面，去除散落的灰塵。(有人建議用低壓過濾的氮氣或不含油的空氣吹晶振片的表面，去除散落 的灰塵﹐本人認為吹氣球即可﹐方便經(jīng)濟又快捷。)切記不要用手指直接接觸晶振片以免留下油漬。

2.保持晶振片的清潔。

不要讓鍍膜材料的粉末接觸晶振片的前后中點位置。任何晶體和夾具之間的顆?；蚧覍訉⒂绊戨娮咏佑|，而且會產(chǎn)生應力點，從而改變晶體振動的模式。

3.晶振座經(jīng)過多次鍍膜后其表面會沉積較厚的膜

如果不將其除去，由于離子轟擊產(chǎn)生的反濺射會影響晶振片的測試精度?？梢韵扔脟娚盎蛴么蛏凹埛椒▽⒛映ィ笥镁凭?分鐘左右，如果能用超聲波振蕩清洗一下，效果會更好，

結尾再將其放入110℃烤箱中烘烤15分鐘，即可使用。

4.保持足夠的冷卻水使晶振頭溫度在20-50度。

如果可以將溫度誤差保持在1-2度范圍內(nèi)，效果更佳。