Throlabs公司的NanoMax系列6軸位移平臺是納米量級定位的強(qiáng)有力工具，它在兩個(gè)方面具有創(chuàng)新:一個(gè)通用支點(diǎn)和一個(gè)允許所有驅(qū)動(dòng)器和通用底座連接的設(shè)計(jì)。NanoMax系列的調(diào)節(jié)范圍為：X、Y、Z軸上0.16" （4 mm），θx，θy，θz上6°?？蛇x的壓電傳動(dòng)器可進(jìn)行閉環(huán)操作。裝置整體采用高剛度的柔性設(shè)計(jì)，X軸方向扭矩為1N·m，Z方向?yàn)?/span>0.5N·m。整個(gè)裝置具有大于130Hz（±10%）的高共振頻率。帶有固定驅(qū)動(dòng)裝置的平行柔性機(jī)構(gòu)是Thorlabs 的技術(shù)，該技術(shù)使所有自由度擁有通用支點(diǎn)，簡化了調(diào)整過程，也降低了維護(hù)費(fèi)用。圖1為六軸位移平臺外觀。

NanoTrak自準(zhǔn)直控制器將智能主動(dòng)反饋的準(zhǔn)直控制系統(tǒng)和兩通道壓電控制器整合到一個(gè)臺式單元中。NanoTrak是構(gòu)建高級準(zhǔn)直系統(tǒng)的基本單元，可以被集成在運(yùn)動(dòng)定位系統(tǒng)中。作為APT系列中的一部分，本系統(tǒng)代表了光學(xué)準(zhǔn)直技術(shù)成果。